РОССИЙСКО-ТУРЕЦКОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ НА ЮЖНОМ КАВКАЗЕ: ПРОБЛЕМЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ Офлаз Бакыр

Диссертация - 480 руб., доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Офлаз Бакыр . РОССИЙСКО-ТУРЕЦКОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ НА ЮЖНОМ КАВКАЗЕ: ПРОБЛЕМЫ И ПЕРСПЕКТИВЫ: диссертация ... кандидата политических наук: 23.00.04 / Офлаз Бакыр ;[Место защиты: Российский государственный педагогический университет им.А.И.Герцена].- Санкт-Петербург, 2014.- 131 с.

Содержание к диссертации

Введение

Глава 1 Электрофизические свойства аморфного оксида алюминия (обзор литературы) 10

1.1. Структурные особенности кристаллических и аморфных модификаций оксида алюминия 10

1.1.1. Структурные особенности кристаллических модификаций оксида алюминия 10

1.1.2. Строение пленок аморфного оксида алюминия, полученного разными способами 14

1.2. Электрофизические свойства аморфных пленок оксида алюминия 22

1.3. Мето д молекулярного наслаивания выращивания тонких пленок 29

1.3.1. Особенности метода молекулярного наслаивания 29

1.3.2. Нанесение пленок оксида алюминия методом молекулярного наслаивания 39

1.4. Выводы из обзора литературы и постановка задач исследования 42

Глава 2 Методика эксперимента 45

2.1. Метод диэлектрической спектроскопии исследования свойств материалов з

2.2. Схема экспериментальной установки и принцип работы диэлектрического спектрометра 48

2.3. Описание образцов и определение элементного состава оксидного слоя МДП – структур 55

Глава 3 Поляризационные свойства слоев аморфного оксида алюминия 62

3.1. Диэлектрическая релаксация в тонких слоях аморфного оксида алюминия 62

3.1.1. Температурно – частотная зависимость составляющих комплексной диэлектрической проницаемости 62

3.1.2. Перенос заряда в аморфных пленках оксида алюминия на переменном токе 73

3.1.3. Вольт – амперные характеристики структур Si / Al2O3 / Al 80

3.2. Влияние технологического фактора на диэлектрические свойства аморфных слоев оксида алюминия, полученных методом МН 89

3.2.1. Влияние условий синтеза (тип реагента) на диэлектрические свойства аморфных слоев оксида алюминия 89

3.3. Выводы по главе 3 112

Заключение 114

Список литературы

Строение пленок аморфного оксида алюминия, полученного разными способами
Нанесение пленок оксида алюминия методом молекулярного наслаивания
Описание образцов и определение элементного состава оксидного слоя МДП – структур
Перенос заряда в аморфных пленках оксида алюминия на переменном токе

Введение к работе

Актуальность темы исследования. Будучи соседями по Черному морю, Турция и Россия всегда уделяли серьезное внимание своим двусторонним отношениям. После распада Советского Союза и окончания «холодной войны» мировая политика претерпела коренные изменения. Вчерашние враги стали партнерами и сегодня стремятся к сотрудничеству. В этой связи во внешней политике России и Турции существенные изменения произошли.

Между двумя странами в разные периоды истории были войны, взаимные обиды, противоречия и конфликты разной степени интенсивности. В то же время Российская Советская Федеративная Социалистическая Республика (РСФСР) стала первым государством, официально признавшим Турецкую Республику. И Турецкая Республика, и РСФСР были преемниками двух империй, для которых нередко было характерно столкновение интересов. Однако после имперской эры, начиная с 20-х годов ХХ века, отношения между двумя странами в целом носили позитивный характер.

После Второй мировой войны они вновь стали складываться не самым благоприятным образом. Мир разделился на два полюса – Запад и Восток. Членство Турецкой Республики в НАТО ознаменовало собой ее принадлежность к противоположенному СССР лагерю: две страны все больше и больше отдалялись друг от друга. Несмотря на это во время «холодной войны» между двумя государствами не было по-настоящему серьезных конфликтов.

Наконец, с начала 1990-х годов, сразу после окончания «холодной войны» и с распадом Советского Союза российско-турецкое взаимодействие опять начало улучшаться. В то же время с разрушением российского геополитического пространства на международной арене появились новые южнокавказские государства – Азербайджан, Армения и Грузия. Вмешательство Турции в ситуацию на Южном Кавказе вызвало особое беспокойство Российской Федерации, поскольку в глазах России Турецкая Республика является, прежде всего, союзником США и южным флангом НАТО в системе североатлантической обороны. Поэтому Россия все время видит в Турции потенциальную угрозу своей безопасности. Конечно, ситуация не безнадежна, но прежняя история и взаимные конфликты заставляют оба государства относиться друг к другу с очевидной настороженностью.

В настоящее время российско-турецкое взаимодействие носит взаимовыгодный характер и выглядит более устойчивым и перспективным, чем когда-либо ранее. Однако потенциал развития отношений еще далеко не исчерпан. Именно поэтому всесторонний анализ позитивных изменений и выявление имеющихся проблем и противоречий на Южном Кавказе представляется крайне актуальным.

Степень разработанности темы исследования. Российско-турецкому взаимодействию посвящено множество научных трудов, однако они, главным образом, носят исторический характер. Базовые теоретические основы изучения данной работы были раскрыты в трудах З. Бжезинского, Д. Фридмана М. Харта, А. Негри и другие.¹ Среди российских исследователей по тематике геополитики необходимо выделить работы И. В. Андронова, Л.О. Терновой, Р. Т. Мухаева и другие.²

Начиная с 1990-х годов по настоящее время количество работ, содежающих в себе анализ теоритических и практических основ геополитики значительно воросло. Значительный вклад в этом направлении принадлежит русским исследователям как А. Гурьев, Р. Т. Мухаев, С. А. Караганов, К. С. Гаджиев, С. Р. Гриневецкий, С. С. Жильцов, С. В. Кортунов и ряда других.³

В настоящем исследовании одним из теоретико-методологических основ изучения является системный метод. В этой связи необходимо отметить, что среди зарубежных исследвателей системный метод детально рассматривается в трудах С. Хантингтона, А. Давутоглу, Х. Алкана.⁴ Среди российских исследователей системный метод подробно отражается в трудах Н.В Злобина, А Дугин, И. Ф. Кефели и ряд других⁵

В данной работе для теоретико-методологических основ изучения конкретно-исторический метод является другим методом. В этой связи, в первую очередь, необходимо отметить, что среди российских исследователей подробно рассматривается в трудах А. Б. Широкорада, К. С. Гаджиева, А. Д. Цыганока и другие.⁶ В этом смысле, необходимо также выделить труды

¹ Бжезинский Зб. Выбор. Глабольное господство или глобальное лидерство / Пер. с англ. – М.: Междунар.
Отношения, 2010. – 264 с.; Фридман Дж. Следующие 100 лет : прогноз событий ХХI века / Джордж
Фридман ; [пер. с англ. А. Калинина, В. Нарицы, М. Мацковской .] – М.: Эксмо, 2010. – 336 с.; Харт
М.,Негри А.Империя/ Пер. с анг., под ред. Г.В. Каменской, М.С. Фети-сова. – М.:Праксис, 2004. – 440 с.

² Широкорад А.Б. Турция. Пять веков противостояния. – М.: Вече, 2009. – 400 с.; Андронова И.В.
Внешнеэкономические аспекты национальных интересов России на постсоветском пространстве / И.В.
Андронова. — М: Квадрига, 2010. 383 с.; Терновая Л.О. Парагеополитика /Л.О. Терновая. – М.: Альфа –
М, 2012 – 656 с.

³ Марков С. Новая Россия и новая Турция в новом мире [Текст] / С. Марков // Известия [Текст]. — 2009. —
12 февраля. — С. 8.; Гурьев А.А. Российско-турецкий саммит в Сочи и политический диалог двух стран /
Гурьев А.А. URL: http// (Дата обращения: 21.03.2012).; Мухаев Р.Т.
Геополитика. – М.: ЮНИТИ-ДАНА, 2007. – 840 с.; Россия и мир. Новая эпоха. 12 лет, которые могут все
изменить / отв. ред. и рук. авт. кол. С.А. Караганов. – М.: АСТ: Русь-Олимп, 2008. – 444 с.; Гаджиев К.С.
Геополитика. – М.: Междунар. отношения, 1997. – 384 с.; Гриневецкий С.Р., Жильцов С.С., Зони И.С.
Геополитическое казино Причерноморья / С.Р. Гриневецкий, С.С. Жильцов, И.С. Зони, - М.: Восток-Запад,
2009. – 352 с.; Кортунов С.В. Современная внешная политика России: стратегия избирательной
вовлеченности[Текст]/ Кортунов С. В.; Гос. Ун-т – Высшая школа экономики. – М.: Изд. Дом Гос. Ун-та –
Высшей школы экономики, 2009. – 603 с.

⁴Хантингтон, С. Столкновение цивилизаций /пер. с англ. Т.Велимеева. – М.: АСТ: Астрель ,2011. – 571 с.; Davutolu А. Stratejik Derinlik: Trkiye’nin Uluslar aras Konumu, Kre yaynlar,stanbul,2011. – 584 с.; Alkan H. Azerbaycan Paradoksu, Azerbaycan’n i ve d politikas, Usak Yaynlar, Ankara, 2010. – 256 с.

⁵ Злобин Н.В. Второй новый миропорядок: Геополитические головоломки/ Николай Злобин. – М.: Эксмо,
2009. – 320 с.; Дугин А. Геополитика постмодерна. Время новых империй. Очерки геополитики XXI. Века/
Александр Дугин. – СПБ.: Амфора. ТИД Амфора, 2007. – 382 с.; Кефели И.Ф. Философия геополитики. –
СПБ.: Издателський дом «Петрополис» ,2007. – 208 с.

⁶ Широкорад А.Б. Турция. Пять веков противостояния. – М.: Вече, 2009. – 400 с.; Цыганок А.Д. Война
08.08.08. Принуждение Грузии к миру / А. Цыганок. – М.: Вече, 2011. – 272 с.; Гаджиев К.С. Кавказский
узел в геополитических приоритетах России / К.С. Гаджиев. – М.: Логос, 2010. – 532 с.

зарубежных исследователей как О. Коджамана, Ф. Озбайя, О. Таспинара, С. Огана, Б. Орана, М. Карабага, T. Ваала, А. Пола и другие⁷

Особо следует выделить труды зарубежных исследователей, в которых содержится сравнительный метод функционирования российско-турецкого взаимодействия на региональном уровне. К числу таких авторов относятся труды К. Касыма, M.T. Демиртепе, O. Сандера, Г. Озкана, Х. Оздала, O. Гафарлы, Р. Йылмаза, И. Турана, Б. Араса, М. Карабага, И. Маммадова, З. Ширинйева, Дж. J. Кючера и других.⁸

Цель исследования – выявление специфики трансформации

взаимодействия между РФ и Турецкой Республикой на Южном Кавказе в период с момента распада Советского Союза и до настоящего времени. Для достижения этой цели были решены следующие исследовательские

Задачи исследования:

1. Дать оценку геополитического положения и значения Южного

Кавказа в современном мире;

⁷0zbay F. Normalleme Srecinde Ermenistan.

URL (дата обращения: 06.07.2012), Kocaman О. The Turkish-
Russian relations within the context of southern cancasus: from confrontation to cooperatioaURL:
(дата обращения: 02.02.2012); Хилл Ф. Россия и Турция на Кавказе
[Текст] / Хилл Ф., Таспинар О. // Политика [Текст]. — 2006. — № 78. — С. 15—28.; Ogan S.Would Armenia
Like to Solve the Nagorno Karabakh Conflict? What is the Armenian 100 Year Strategy?.
URL (дата обращения: 25.03.2013); Карабаг M.

URL (Дата

обращения: 28.05.2012); Waal Т. No America in the Caucasus The False Promise of Westernization in Georgia URL (дата обращения: 03.07.2012); Paul A. Nagorno-Karabakh and the EU: time to increase engagement. URL (дата обращения: 19.09.2013)

⁸ Kasm K.Souk Savas. Sonras KAFKASYA, Usak Yaynlan, Ankara,2009. - 292 c; M.T. Demirtepe. Orta As-
ya/Kafkasya Gtic Politikas, Uluslar aras Stratejik Aratrmalar Kuramu, Ankara, 2008. - 322 c; Sander O. Siyasi
Tarih: 1918-1994, mge Kitabevi Yaynlan, 19. Bask, Ankara, Ekim 2010. - 605 c; G. zkan. Grcistan’da yeni
ynetim, etnik aynlrkci blgeler ve gvenlik, Orta Asya ve Kafkasya’da Gtic Politikas, Derleyen M. Turgut
DEMRTEPE, Ankara,2008, S. 211-247; H. zdal.Gl-Medvedev griismesi: Gelimelere genel baki. URL:
(дата обращения: 02.04.2012); Gafarh О.
Grcistan seimleri ve Trkiye’nin Gney Kafkasya Politikas.

URL (дата обращения:
07.04.2013); Ylmaz R. .Bagimszhk sonras Rus-Grc ilikileri.

URL (дата обращения: 07.04.2012); І. Tu-
ran.Trk-Rus ilikileri: Sorunlar ve Frsatlar.

URL (дата обращения: 09.07.2012); Karaba M. Rusya Federasyo-nu’nun Post-Sovyet Blgelerine Ynelik Politikalan ve Bugn itibariyle Geline Nokta. URL (дата обращения 12.07.2012); В. Aras.Turkish-Russian Relations and Eurasia's Geopolitics. URL (дата обращения: 20.05.2012); Маммадов И. М., Мусаев, Т.Ф. Армяно-азербайджанский конфликт: история, право, посредничество/ И.М. Мамадов, Т.Ф. Мусаев. 2-е изд. - Тула: Гриф и К, 2007. - 192 с; Z. iriyev. 2010 Ylnn Diplomasi Trafiinde Daghk Karaba Soranuna Cozm Arayilan, international Strategic Research Organization, Cilt:5 Say:10, 2010. - С 119-145

На основе анализа развития взаимодействия между Турецкой Республикой и Российской Федерацией на Южном Кавказе выявить ключевые аспекты взаимодействия двух стран;
Определить основные проблемы и противоречия на пути установления добрососедских связей между южно-кавказскими странами;
Дать оценку эффективности проводимой обеими сторонами внешней политики на Южном Кавказе;
Установить степень взаимозависимости южно-кавказских государств и их влияние на внешнюю политику Турецкой Республики и Российской Федерации;
Дать прогноз дальнейших перспектив российско-турецкого взаимодействия в регионы;

7. Определеть роль Турции и России в решении проблем на Южном
Кавказе.

Объект исследования - внешняя политика Турции и Российской Федерации в отношении Южного Кавказа.

Предмет исследования - механизм развития российско-турецкого взаимодействия в регионе.

Теоретико-методологическая основа исследования. В процессе исследования были, главным образом, использованы такие методы, как системный, конкретно-исторический и сравнительный. Системный метод позволяет выявить характер российско-турецкого взаимодействия. Конкретно-исторический метод дает возможность понять ход событий в период после распада СССР. Сравнительный метод, главным образом на региональном уровне с учетом разнообразных существующих связей, показывает роль Турции и России с точки зрения специфики их политики в отношении решения проблем Южного Кавказа.

Личный вклад автора в получение научных результатов, изложенных в диссертации.

В рамках работы над диссертацией проведено самостоятельное исследование, в процессе которого получены следующие результаты:

раскрыта сущность теоретико-методологических оснований изучения геополитики в современном мире,

выделены сущностные и специфические характеристики Южного Кавказа,

определено место и роль России и Турции в политических процессах, происходящих в данном регионе;

выявлены факторы, определяющие характер российско-турецкого взаимодействия на Южном Кавказе;

проведен сравнительный анализ внешнеполитических стратегий Армении, Азербайджана и Грузии и выявлены тенденции их развертывания в условиях трансформации российско-турецких отношений;

дана оценка эффективности внешней политики России и Турции в данном регионе и предложены конкретные меры по ее повышению Гипотеза исследования заключается в том, что развитие российско-турецкого взаимодействия на Южном Кавказе на современном этапе оказывает определяющее влияние на внешнюю политику южнокавказских государств. Соответственно, взаимодействие на добрососедских принципах между Россией и Турцией принесет порядок и стабильность в регион, что в свою очередь повлечет за собой новые практики в решении региональных проблем всего мира.

Положения, выносимые на защиту:

Южный Кавказ является одним из ключевых регионов мировой политики. Ослабление Российской Федерации после распада СССР оказало сильное влияние на регион и позволило усилить роль внерегиональных сил -Европейского Союза и США - на Южном Кавказе. Такая ситуация ставит перед РФ необходимость принятия эффективных внешнеполитических мер в пользу своих интересов в регионе.
Южный Кавказ имеет огромное политическое значение во всем евразийском регионе, и ведущие региональные страны и западные струтктуры уделяют значительное внимание проблеме обеспечения стабильности и порядка на Южном Кавказе. Нестабильная обстановка в регионе будет угрожать транспортировке нефти, газа и других природных ресурсов.
Южный Кавказ в основных внешнеполитических концепциях региональных держав рассматривается как стратегическая территория для реализации своих национальных интересов. Контроль над Южным Кавказом становится ключевым аспектом в принятии внешнеполитических решений и реализации основных направлений внешней политики каждого государства, имеющего интересы в этом регионе.
Интерес России и Турции к Южному Кавказу во многом определяется геостратегическим положением. Важную роль играет стремление двух региональных держав к обеспечению стабильности и безопасности в регионе. Решение этой проблемы в южнокавказском регионе сможет послужить примером для соседних стран в Каспийском бассейне и Центральной Азии.
Для каждого южнокавказского государства безопасность Южного Кавказа исключительно важна. Каждая из южнокавказских стран выдвигает свою доктрину безопасности, которую считает правильной, в отличие от других. Несогласованные и противоречивые понятия о безопасности и интересы внерегиональных структур превращают регион в конфликтную зону. Нагорно-Карабахский вопрос и этнические проблемы в Грузии - важные примеры данного процесса.
Взаимоотношения Турции и России являются одним из самых важных и значительных примеров на постсоветском пространстве. долгие времена две региональные державы не могли найти общий язык в

региональных вопросах. На сегодня Турция в своем регионе хочет участвовать в принятии региональных решений, и стабильность на Южном Кавказе занимает важное место в ее внешней политике.

Внешняя политика России и Турции на Южном Кавказе реализуется через общие интересы как двусторонние форматы и действия, обоюдные лояльные блоки и объединения. Реализация двустороннх политических и дипломатических решений при участии южнокавказских государств повлечет за собой более стабильную обстановку в регионе.
Внешняя политика России и Турции в зоне «исключительных интересов» носит противоречивый характер. С одной стороны, обе страны расширяют и развивают свое участие в региональных конфликтах, инициируют и поддерживают создание ««Кавказского альянса». С другой стороны, идея создания «Платформы стабильности и сотрудничества на Кавказе» с участием России, Турции, Грузии, Армении и Азербайджана в случае своей реализации будет способствовать решению проблем безопасности и стабильности в регионе.

Научная новизна исследования состоит в том, что оно является одной из первых попыток изучения развития российско-турецкого взаимодействия в период после распада Советского Союза в рамках государственной политики, проводимой обеими сторонами в южнокавказском регионе. Особое внимание уделено:

Выявлению факторов, определяющих характер российско-турецкого взаимодействия;

Оценке значимости Южного Кавказа для реализации национальных интересов России и Турции;

Сравнительному анализу внешнеполитических стратегий Армении, Азербайджана и Грузии;

Определению роли других геополитических акторов, стремящихся укрепить свои позиции в регионе;

Формулированию конкретных предложений по повышению эффективности российско-турецкого взаимодействия в целях обеспечения политической стабильности на Южном Кавказе. Теоретическая значимость работы заключается в углублении и

дальнейшем развитии теоретико-методологических подходов к анализу современной геополитической ситуации, проявившиеся в частности в:

Выявлении новых тенденций в концептуальных подходах к геополитике;

Определении характера изменений в современном геополитическом дискурсе;

Оценке значимости внешних и внутренних факторов, детерминирующих политическую ситуацию в регионе;

Прогнозировании возможных вариантов дальнейшего развития событий на Южном Кавказе.

Практическая значимость исследования состоит в том, что материалы и сделанные на их основе выводы позволяют составить целостную картину российско-турецкого взаимодействия на Южном Кавказе, необходимую для принятия взвешенных политических решений странами региона.

В то же время, данное диссертационное исследование может быть использовано при преподавании таких дисциплин, как «Мировая политика и международные отношения», «Геополитика», «Этнополитология» и ряда других.

Апробация результатов исследования. Положения и выводы диссертации прошли апробацию в ходе ежегодных Герценовских чтений (2011-2013 годы), а также Пятой Международной научно-практической конференции «Медийные стратегии современного мира», 1-3 ноября 2011 г., Сочи. По теме диссертации автором опубликовано 5 статей, в том числе 3 в научно рецензируемых изданиях.

Структура работы

Диссертация состоит из введения, трех глав, восьми параграфов, заключения и списка литературы, включающего 180 наименования, в том числе 99 на иностранных языках. Общий объем работы составляет 159 страниц( с учетом списка литературы)

Строение пленок аморфного оксида алюминия, полученного разными способами

Теоретическая значимость работы. Полученные экспериментальные результаты исследования поляризационных свойств слоев оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания, вносят вклад в физику электронных явлений в аморфных полупроводниках и в разработку теоретических основ технологии получения аморфных слоев с необходимыми функциональными свойствами для устройств электроники и оптоэлектроники.

Практическая значимость работы. В рамках выполненной работы получены новые данные, касающихся влияния условий синтеза аморфных слоев оксида алюминия, на их диэлектрические свойства. Эти результаты являются основой для составления научно-технических рекомендаций по практическому использованию изученного материала.

Результаты работы используются в учебном процессе при подготовке студентов, магистрантов и аспирантов на факультете физики РГПУ им. Герцена, обучающихся по магистерским программам в области физики конденсированного состояния вещества.

Связь темы с планом научных работ. Диссертационная работа являлась частью научных исследований лаборатории физики неупорядоченных полупроводников НИИ физики РГПУ им. А.И. Герцена и проводилась в рамках прикладных исследований по государственному заданию Министерства образования и науки Российской Федерации: 1. № 50/12-ГЗП «Синтез и исследование электрофизических свойств но-вых наноструктурированных композиционных материалов, перспективных для использования в микро- и оптоэлектронике».

2. № 43/13-ГЗП «Синтез, диэлектрическое и структурное исследование новых функциональных наноматериалов на основе органических и неорганических полимерных систем».

Результаты данного исследования были отмечены Дипломом III степени на Всероссийском молодежном конкурсе научно – исследовательских работ по фундаментальной и прикладной физике, проведенном в 2012 году Министерством образования и науки РФ на базе МГТУ им. Н. Э. Баумана (Москва, июль 2012 г.).

Достоверность и научная обоснованность обеспечивались комплексным характером исследования, корректностью использованных экспериментальных методик и воспроизводимостью результатов проведенных измерений, применением современных методов математической обработки данных, сопоставлением экспериментальных результатов с литературными данными.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих международных и всероссийских научных конференциях: «XII Всероссийской молодёжной конференции по физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и на-ноэлектронике» (Санкт - Петербург, 2010 г.); ХII Международной конференции «Диэлектрики – 2011» (Санкт - Петербург, 2011 г.); Международной научно-практической конференции «Научные исследования современности. Выпуск 3» (Украина, Киев, 2011 г.); XII Всероссийском молодежном школе-семинаре по проблемам физики конденсированного состояния (Екатеринбург, 2011 г.); VIII Международной конференции «Аморфные и микрокри 9 сталлические полупроводники - AMS VIII» (Санкт - Петербург, 2012 г.); Всероссийском молодежном конкурсе научно - исследовательских работ по фундаментальной и прикладной физике 2012 г. (Москва, 2012 г.) и научных семинарах НИИ Физики Российского государственного педагогического университета имени А. И. Герцена.

Публикации. По результатам исследования опубликовано 11 печатных работ, в том числе, 4 статьи в российских и зарубежных реферируемых журналах, 7 – в трудах всероссийских и международных научных конференций.

Личный вклад автора состоит в том, что ею получена основная часть экспериментальных результатов, проведена их интерпретация и подготовка к представлению. В опубликованных работах участвовала в постановке задач и обсуждении полученных результатов. Содержание основных положений, выносимых на защиту, раскрыто в 11 публикациях (из них 4 публикации в реферируемых журналах).

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, 3 глав, заключения и списка литературы. В работе 131 страниц сквозной нумерации, 36 рисунков, 6 таблиц, список литературы включает 120 наименований.

Нанесение пленок оксида алюминия методом молекулярного наслаивания

Одними из методов, позволяющих, изучать структуру и свойства материалов, являются методы диэлектрической спектроскопии, которые позволяют следить непосредственно за изменением ориентации дипольных моментов исследуемых молекул в широком частотном диапазоне [67]. Это даёт возможность изучать поведение широкого класса веществ, начиная от воды (Н20) или низкомолекулярных углеводородов до высокомолекулярных нефтяных компонентов (масла, смолы, асфальтены и др.) при различных условиях (температура Т, давление Р, объем V) [68, 69, 70 ]. Анализируя диэлектрические спектры ел =/(log& ) веществ, можно выявить различные диэлектрические и термодинамические параметры (время релаксации т, тангенс угла диэлектрических потерь tg(5, энергия активации Еа) и в сочетании с реологическими свойствами веществ дать необходимую оценку дисперсности, идентифицировать коллоидные частицы, обнаружить и проконтролировать фазовые переходы, протекающие в системе при изменении температуры и давления [71, 72, 73 ].

В последнее время востребованность диэлектрической спектроскопии (ДС) как метода изучения процессов и свойств в фундаментальных и прикладных исследованиях чрезвычайно возросла [74, 75, 76 ]. Его применяют в качестве информативного рабочего инструмента в различных областях элек 46 трохимии, физике, науках о материалах. С одной стороны, это обусловлено возросшим уровнем технического и программного обеспечения метода, что сокращает временные затраты на получение и обработку экспериментальных данных. С другой стороны, сейчас разработаны и научно обоснованы подходы, позволяющие получить уникальную информацию, как о свойствах изучаемой системы, так и о механизме процессов, протекающих в ней. В частности, импедансная спектроскопия (ИС) применяется для исследования границы раздела металлического электрода с электролитом, диэлектрических и транспортных свойств материалов, установления механизма электрохимических реакций, исследования свойств пористых электродов. Кроме того, данный метод используется для изучения пассивных поверхностей и топливных элементов, оценки состояния электрохимических батарей, и сплошности полимерных покрытий [77, 78, 1].

Прикладывание переменного возмущения небольшой величины позволяет, во – первых, проводить высокоточные измерения, т.к. отклик может быть бесконечно устойчивым, а, следовательно, может быть усреднен по большому периоду времени. Во – вторых, появляется возможность обработать сигнал теоретически с помощью линеаризованных (или другим методом упрощенных) характеристик, и, в – третьих, проводить измерение в большом временном (или частотном) диапазоне (104 – 10-6 сек или 10-4 – 106 Гц).

Сущность метода ДС состоит в подаче возмущающего синусоидального сигнала малой амплитуды на исследуемую систему и изучении вызванного им сигнала – отклика на выходе [80]. Поскольку отклик системы обусловлен совокупностью многих факторов, то весьма полезным оказывается представление импедансных данных в разных координатах, чтобы выделить интересующие исследователя детали. Для полного понимания процессов, протекающих под влиянием электрического поля, комплексные импедансные данные должны быть проанализированы на уровне комплексных величин импеданса (Z = Z + jZ ), адмиттанса (Y = Y + jY ), диэлектрической проницаемости (є = s + je") и электрического модуля (М = І/є = М +

Во всех областях науки экспериментальные данные (полученные методом ДС - не исключение) интерпретируются в терминах «моделей», несмотря на то, что модель является нашим восприятием реальности [81, 82]. Поскольку восприятие человека, как правило, не является полным, то все модели в определенной степени ограничены. Модели, используемые для интерпретации диэлектрических данных, разделяются на аналоговые и физические. Аналоговые модели почти всегда имеют форму электрических эквивалентных схем и не способны описать физико-химические свойства системы, а только воспроизводят их схематично. Физические модели, напротив, нацелены не только на воспроизводство самого феномена, но и на объяснение механизма процессов, происходящих на границе раздела в терминах действующих физико - химических концепций. Поскольку задачей исследователя, использующего ДС, является изучение механизма переноса заряда, то простое применение аналоговой модели не позволяет провести полный анализ экспериментальных данных [83].

Описание образцов и определение элементного состава оксидного слоя МДП – структур

В данном разделе представлены результаты исследования процессов переноса заряда в тонких слоях аморфного оксида алюминия, выращенных методом ALD, на кремнии Si / Al2O3 / Al [95, 96, 97]. В качестве объекта исследования использовали образцы партии № 1. Для создания металл – диэлектрик – полупроводник (МДП) – структур, в качестве подложки были использованы пластины p - Si (100) марки КДБ - 10. Выбор Si в качестве подложки обусловлен тем, что характеристики границы раздела Al2O3 / Si слабо зависят от температуры синтеза диэлектрика. Оксид алюминия выращен методом МН из смеси газов: в качестве реагентов для исследуемого образца использовались триметилалюминия Al(CH3)3 (ТМА) и пары воды. Алюминиевые контакты площадью 0.24 мм2 наносились на диэлектрик термическим испарением в вакууме. Толщина оксидного слоя составляла 100 нм.

На рисунке 3.7 представлена частотная зависимость удельной проводимости при разных температурах. Из рисунка видно, что проводимость исследуемого образца слабо зависит от температуры и увеличивается с увеличением частоты внешнего переменного поля. На частотной зависимости можно выделить два участка: область низких и средних частот. В ходе эксперимента обнаружена степенная зависимость удельной проводимости от частоты в диапазоне низких частот по закону As. Показатель степени s 1 и монотонно уменьшается с температурой в пределах от (0.50 ± 0.01) до (0.32 ± 0.01) (рисунок 3.8), что говорит о существовании прыжкового механизма проводимости в данной области частот. Как известно, проводимость зонного типа является в основном частотно – независимой вплоть до 1010 – 1011 Гц. Наблюдаемая нами экспериментальная зависимость f 0.320.50 свидетельствует о том, что она обусловлена прыжками носителей заряда между локализованными в запрещенной зоне состояниями. C ростом температуры и частоты вероятность перескоков и их число повышаются, одновременно происходит делокализация носителей в пределах определенных групп состояний, что сопровождается уменьшением величины коэффициента s. Возможно, что в пленках Al2O3, обладающих разупорядоченной структурой, роль локализованных состояний выполняют в основном флуктуации плотности вещества [99]. Увеличение заполнения таких состояний с ростом температуры приводит не только к делокализации носителей, но и к общему увеличению проводимости.

Согласно существующим теоретическим представлениям локализованные состояния могут быть состояния вблизи краев разрешенных зон или состояния вблизи уровня Ферми [99]. Но так как в экспериментальных условиях проводимость по состояниям вблизи уровня Ферми всегда доминирует над проводимостью по состояниям вблизи краев разрешенных зон. Полученная нами закономерность f 0.320.50 свидетельствует о прыжковом механизме переноса заряда по состояниям, локализованным в окрестности уровня Ферми. Согласно [100] частотная зависимость проводимости выражается: ах (со) = — Nz (EF )kTacor ez, (3.2) где є - заряд электрона; к - постоянная Больцмана; Np - плотность состояний вблизи уровня Ферми; а = XIа - радиус локализации; а - постоянная спада волновой функции локализованного носителя заряда у/ е ах\ vph -фононная частота.

В диапазоне средних частот обнаружена степенная зависимость от частоты, но показатель степени s практически не изменяется с температурой, принимает значение s 0.96. На частотах выше 105 Гц частотная зависимость описывается квадратичной функцией. Эффективная подвижность электронов, участвующих в прыжковой проводимости не превышает 105 м2В-1с-1 [101].

При переносе заряда вследствие прыжковой проводимости по локализованным в запрещенной зоне состояниям следует учитывать, что эти состояния, случайным образом распределенные в объеме образца, разделены энергетическим барьером. Величина параметра s в частотной зависимости проводимости позволяет оценить разницу энергий между основным состоянием в энергетическом минимуме и свободным состоянием (высоту потенциального барьера Wm), в котором носитель может перемещаться по Al2O3 [102]

Расчеты величины Wm при разных температур приведены в таблице 3.2. С увеличением температуры высота потенциального барьера уменьшается.

В случае присутствия прыжкового механизма переноса заряда среднее расстояние прыжков r0 определяется по формуле [103]:

Значение боровского радиуса локализации носителя заряда (среднее расстояние между центрами локализации заряда) принято равным 30 нм. Принимая значение ph равным 1012 Гц получаем среднее расстояние прыжков равным r0 = (761.56 ± 0.01) . Зная значение r0 и с учетом формулы (3.1) можно вычислить плотность локализованных состояний на уровне Ферми N(EF). При расчете на частоте 102 Гц, полученные значения приведены в таблице 3.2.

Перенос заряда в аморфных пленках оксида алюминия на переменном токе

Таким образом, в данной работе впервые представлены результаты комплексного исследования поляризационных процессов в тонких слоях аморфного оксида алюминия, полученных методом молекулярного наслаивания. В ходе исследования установлена корреляция между особенностями процессов диэлектрической релаксации и переноса заряда и структурными особенностями изученных слоев. Выявлено влияние условий синтеза аморфных слоев Al2O3 на диэлектрический отклик МДП – структур на их основе.

К основным результатам, полученным в ходе проведения настоящего исследования можно отнести следующие:

1. Установлены закономерности поляризационных явлений в аморфных слоях оксида алюминия, в том числе: увеличение диэлектрической проницаемо-сти с уменьшением частоты и ростом температуры, увеличение величины диэлектрических потерь с температурой. Обнаруженные закономерности свидетельствуют о существовании механизма дипольно-релаксационной поляризации.

2. В области низких и средних частот наблюдается недебаевский ре-лакса-ционный процесс с несимметричным распределением времен релаксации согласно модели Коула – Дэвидсона.

3. Частотная зависимость действительной части удельной проводимости имеет вид =Аs, что свидетельствует о существовании прыжкового механизма проводимости по состояниям, локализованным в запрещенной зоне. Процесс переноса заряда является термически активированным процессом, с наличием двух участков на температурной зависимости проводимости с различными энергиями активации.

4. Обнаружено влияние реагента используемого при синтезе аморфных слоев, в частности, применение азотной кислоты вместо воды приводит к увеличению значения диэлектрической проницаемости, а также, к увеличению диэлектрических потерь и смещению максимума потерь в область низких частот. Отличие в диэлектрическом отклике пленок, по-видимому, связано со структурными особенностями слоев.

5. Выявлено, что увеличение толщины слоя оксида алюминия приводит к увеличению диэлектрических потерь и смещению частоты, на которой приходится релаксационный максимум. Энергия активации релаксационного процесса уменьшается.

6. Чувствительность диэлектрических свойств к изменениям условий синтеза аморфных слоев оксида алюминия, может быть использована при разработке методики диагностики их структурных особенностей и расчета электрофизических параметров, определяющих практическое применение данных слоев в устройствах опто- и микроэлектроники.

В настоящее время, к основным областям применения пленок получаемых методом молекулярного наслаивания, следует отнести создание полупроводниковых устройств памяти, нанесение подзатворных диэлектриков с высокой диэлектрической постоянной, создание различных по форме и распределению химических компонент нановолокон и нанотрубок, создание ан-тиотражающих покрытий с регулируемым коэффициентом преломления, нанесение прозрачных проводящих оксидов, используемых в солнечных элементах и др. Данный метод позволяет получать очень широкий класс материалов: нитридные, оксидные, металлические, полупроводниковые пленки, наноламинаты, которые имеют аморфную или кристаллическую структуру в зависимости от температуры осаждения. Возможность проведения процесса при низких температурах (100 – 200 0С) позволяет проводить осаждение на стекло, пластики, полимерные материалы и даже тефлон.

Как известно, диэлектрическая пленка должна иметь следующие свойства: стабильность физических и электрических параметров в диапазоне рабочих температур изготовляемого конденсатора; высокую электрическую прочность и диэлектрическую проницаемость; малый угол диэлектрических потерь; равномерность толщины, однородность структуры и отсутствие пор в осажденной пленке. Представленная работа может быть продолжена в направлении исследования влияния материала подложки, природы реагента, а также расширения диапазона температур и напряжений поля на диэлектрические характеристики аморфных пленок Al2O3, полученных методом молекулярного наслаивания с целью расширения их области применения путем оптимизации их эксплуатационных характеристик.