Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Коваленко Владислав Борисович. Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18.- Воронеж, 2001.- 233 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/400-X