Введение к работе
Актуальность работы. Алкильные соединения цинка, селена и теллура широко используются в качестве промежуточных летучих соединений при получении высокочистых веществ, а также для легирования полупроводниковых материалов, что является приоритетным направлением в современной науке и технике, определяющим уровень и темп научно-технического прогресса. Получение высокочистых веществ из элементоорганических соединений (ЭОС) основано на их способности выделять чистые металлы или их соединения под воздействием различных форм энергии, обычно, это разложение ЭОС в паровой фазе под воздействием тепла.
Практическое использование ЭХ, сопровождающееся испарением как индивидуальных веществ, так и их растворов, требует знания надежных термодинамических параметров, характеризующих фазовый переход жидкость-пар: давление насыщенного пара, средняя молекулярная масса пара, нормальная температура кипения, энтальпия и энтропия испарения; для растворов - дополнительно: зависимость состава пара от состава раствора, коэффициенты активности компонентов раствора и т.д. Особое место среди основных термодинамических характеристик испарения занимает температурная зависимость давления насыщенного пара веществ, которая в скрытой форме включает в себя все остальные термодинамические характеристики процесса испарения. Несмотря на то, что температурную зависимость давления пара алкильных соединений цинка, селена и теллура экспериментально изучали неоднократно во многих лабораториях, опубликованные данные не удается свести воедино, так как почти во всех случаях работы проведены с веществами, недостаточно хорошо охарактеризованными по чистоте. Работ по измерению давления пара растворов алкильных соединений указанных веществ в литературе нет. Поэтому исследование термодинамических параметров испарения индивидуальных ЭОС и их растворов с использованием высокочистых образцов имеет принципиально важное значение, поскольку определяющим образом решает вопрос о надежности полученных термодинамических характеристик.
Настоящая работа выполнена в соответствии с планом работ Научного Совета АН СССР по химической термодинамике и термохимии, раздел 2.19; целевой комплексной программой "Высокбчистые вещества", раздел 1.6 и планом НИР Львовского политехнического института № ГР 0I8700886I2.
Научная новизна. Впервые проведено исследование равновесия раствор-пар в бинарных системах алкильных соединений цинка, селена и теллура; установлены формы существования компонентов в жидкой и в паровой фазах. Для высокочистых образцов циметил- и киэтилцинка, диметил- и диэтилселена измерена температурная- зависимость цавления насыщенного пара и калориметрически определена знтальгіия испарения.
Научно-практическая ценность. Полученные в настоящей работе данные могут быть использованы в термодинамических расчетах при разработке технологий очистки ЭОС и получения из паровой фазы высокочистых покрытий.
Результаты исследований переданы в НИИ химии при Нижнегороц-ском государственном университете.
Апробация работы. Материалы диссертации доложены на ІУ Всесоюзной конференции по термодинамике и материаловедению проводников (Москва, 1989), Международной конференции по химической термодинамике и калориметрии (Бейцжинг, Китай, 1989), УІ Всесоюзной конференции по термодинамике органических соединений (Минск, 1990), секции Научного Совета по программе "Кварц" (Горький, 1988,1989), а также на научных конференциях Львовского политехнического института (Львов, І988-І99І).
Публикации. По результатам выполненной работы опубликовано: 5 статей и тезисы 3 докладов на конференциях.
Обьем и структура работы. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, выводов и списка литературы. Работа изложена на 140 страницах машинописного текста, содержит 56 таблиц,. 16 рисунков, список литературы включает 92 наименования.
