Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Ковалгин, Алексей Юрьевич. Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С.-Петербург. гос. техн. ун-т.- Санкт-Петербург, 1995.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-4/3443-2
