Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Хорин Иван Анатольевич. Самоорганизация многослойных металлургических структур для контактных систем суб-100 нм КМОП ИС : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 171 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-1/319-9