Введение к работе
Актуальность темы. Кремний является одним из наиболее широко используемых материалов современной микроэлектроники. Природный кремний представляет собой смесь трёх стабильных изотопов (MSi - 92,23 ат. %, ^Si - 4,67 ат. % и 30Si - 3,10 ат. %). В последние годы существенно возрос интерес к изотопу 28Si, что обусловлено перспективами его использования из-за повышенной теплопроводности по сравнению с кремнием природного изотопного состава. Использование изотопнообогащённого 28Si (99,9 ат. %) позволит существенно улучшить функциональные характеристики интегральных микросхем (прежде всего их производительность и время жизни). В этой связи, разработка наиболее экономичного процесса разделения изотопов кремния с целью получения высокообогащённого 28Si, вне сомнения актуальна. Данная работа посвящена изучению процесса разделения изотопов кремния методом химического изотопного обмена.
Цель работы - изучение процесса разделения изотопов кремния в системах SiF4 - комплексные соединения SiF4 с алифатическими спиртами ROH для получения высококонцентрированного изотопа 28Si.
Научная новизна:
-
Исследованы физико-химические свойства комплексных соединений SiF4-2ROH для гомологического ряда алифатических спиртов этанол - октанол-1, изучено влияние температуры на свойства комплексов SiF4'2ROH. Получены также данные по растворимости SiF4 в других классах органических соединений.
-
Определены значения коэффициента разделения изотопов кремния в системах SiF4(r) - SiF4-2ROH(H<) при использовании в качестве комплексообразователя бутанола-1,пентанола-1,гексанола-1 иоктанола-1.
-
Изучены гидродинамические характеристики высокоэффективной спирально-призматической насадки с размером элемента 1x1x0,2 мм для систем SiF4w -SiF4-2ROH(,K) на основе бутанола-1, пентанола-1 и гексанола-1 при температуре 293 К.
-
Исследован массообмен при разделении изотопов кремния в системах SiF4(r) -SiF4-2ROH(at) на основе спиртов гомологического ряда бутанол-1 - гексанол-1
' Работа выполнена при финансовой поддержке Росатома.
С.-Петербург
ОЭ 200акЛЦК
при температуре 293 К. На примере комплексообразователя пентанола-1 выявлена лимитирующая стадия процесса массообмена.
-
Исследованы особенности процесса обращения потоков.
-
На основе экономических расчётов показана экономическая привлекательность и конкурентоспособность изученного способа разделения изотопов кремния для концентрирования изотопа 28Si.
Практическая ценность. Определены основные технологические характеристики процесса разделения изотопов кремния методом химического изотопного обмена между SiF4 и его комплексными соединениями с алифатическими спиртами, необходимые для проектирования пилотной установки по разделению изотопов кремния.
Апробация работы. Результаты работы представлены на XVII, XVIII и XIX Международной Конференции молодых ученых по химии и химической технологии (МКХТ - 2003 г., МКХТ - 2004 г. и МКХТ - 2005 г.), VIII, IX и X всероссийской (международной) научной конференции «Физико-химические процессы при селекции атомов и молекул» (2003, 2004 и 2005 г.), VII, VIII и IX Международной студенческой научной конференции «Полярное сияние» (2004, 2005 и 2006 г.), IV НТК «Научно-инновационное сотрудничество» (Научная сессия МИФИ - 2005), XXXIX и ХЫ Всероссийской Научной Конференции по проблемам математики, информатики, физики, химии, и методики преподавания (2003 и 2005 г.), V Международной Конференции по изотопам - 5ICI (Брюссель - 2005 г.).
Публикации. По теме работы опубликовано 14 научных работ.
Объем работы. Диссертация состоит из введения, 5 глав, выводов и списка использованной литературы. Общий объем работы: 199 с.