Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Максимова, Татьяна Ивановна. Модификация структурных характеристик поверхности (001) кремния в микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.01.- Одесса, 2000.- 22 с.: ил.