Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Нисков, Валерий Яковлевич. Разработка конструктивно-технологических методов создания высококачественных изделий кремниевой микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01.- Воронеж, 1998.- 36 с.: ил.