Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Савкин Алексей Владимирович. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1187-4
