Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Рау, Эдуард Иванович. Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Рос. акад. наук. ЦКБ уникального приборостроения.- Москва, 1993.- 26 с.: ил. РГБ ОД, 9 93-2/651-5
