Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Березина Наталия Вадимовна. Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13.- Москва, 2001.- 122 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/851-X