Введение к работе
Актуальность темы.
Современный этап развития радиофизики характеризуется интенсивными исследованиями процессов возбуждения и преобразования электромагнитных сигналов в линейных и нелинейных устройствах. Для формирования временных и частотных характеристик высокоинформативных сигналов требуется осуществлять, например, такие операции, как задержка, фильтрация, согласование и другие линейные и нелинейные преобразования. При этом требуется как высокая стабильность результатов таких операций, так и возможность управления спектральными и временными характеристиками преобразуемых сигналов с помощью внешних воздействий таких, например, как электрические и магнитные поля, оптическое излучение, температура. Для повышения информативности сигналов требуется в одних случаях уменьшать их временную длительность и расширять частотный спектр, в других случаях - сужать полосу частот, например, для генерации высокостабильных колебаний. Иногда в первую очередь необходимо снижение потерь основного сигнала, а когда-то в первую очередь необходимо увеличение подавления внеполосных или других паразитных сигналов.
Создание устройств, реализующих такие операции с радиосигналом на частотах от десятков МГц до десятков и сотен ГГц, требует исследования широкого круга физических процессов, происходящих при возбуждении и преобразовании волн различной природы в твердотельных элементах электродинамических систем, являющихся основой функциональных устройств и измерительных систем. В относительно низкочастотной части спектра радиосигналов (50МГц-ЗГГц) используется преобразование электромагнитной волны в акустические волны, в диапазоне частот 1ГГц-ЗОГГц используется преобразование электромагнитной волны в магнито-статические спиновые волны (МСВ), в коротковолновой части сантиметрового и длинноволновой части миллиметрового диапазонов используются волны поляризации в сегнетоэлектрике (ВП), а в коротковолновой части миллиметрового и длинноволновой части субмиллиметрового диапазонов для формирования и управления временными и частотными характеристиками радиосигналов большой научный и практический интерес пред-:тавляет изучение и использование взаимодействия лазерного излуче-їия видимого и ближнего инфракрасного диапазонов с твердотельной хлазмой в структуре СВЧ полевого транзистора с барьером Шоттки, позволяющего осуществлять преобразование оптического сигнала в СВЧ гок носителей заряда и наоборот. Важное значение для создания как :верхузкополосных, так и сверхширокополосных устройств во всех упомянутых диапазонах имеют исследования электродинамических систем с шементами из высокотемпературного сверхпроводника.
—4—
Решению перечисленных проблем посвящено огромное количество работ ученых всего мира. Однако прогресс науки и техники ставит перед исследователями все более сложные задачи, для решения которых необходим поиск и исследования как новых физических процессов, так и более глубокое изучение уже известных. Поэтому поиск новых явлений и закономерностей в физических процессах возбуждения и преобразования акустических, спиновых и электромагнитных волн и колебаний в электродинамических системах с твердотельными элементами в диапазонах частот от десятков МГц до десятков и сотен ГГЦ, направленных на решение проблем формирования и преобразования сложных высокоинформативных СВЧ и КВЧ сигналов, представляют одну из крупных научных проблем, решение которой имеет важное и актуальное значение как для развития радиофизики электродинамических систем с твердотельными структурами, так и для создания новейшей элементной базы и измерительных систем.
Состояние проблемы на момент начала исследований
Радиофизика, родившаяся в преддверии XX века как наука об излучении и приеме радиоволн, распространяющихся в свободном пространстве, постепенно включала в круг изучаемых ею вопросов волновые и колебательные процессы в сплошных средах. Так после изобретения Эрен-фестом в 1919 г. пьезоэлектрического преобразователя радиофизические методы стали применяться в акустике и дали мощный импульс развитию ультразвуковой техники и акустоэлектроники. В настоящее время российская школа акустоэлектроники, возглавляемая директором Института радиотехники и электроники РАН академиком Ю.В.Гуляевым занимает ведущие позиции в мире в этой области радиофизики. Так, например, один из типов поверхностных волн носит название волны Гуляева-Блюс-тейна. Значительный вклад в теорию и практику применения акустоэлек-тронных устройств на поверхностных волнах внесли многие российские учёные, в числе которых необходимо упомянуть безвременно ушедших И.А.Викторова, В.Е.Лямова, И.А.Гилинского, И.Б.Яковкина, значителен вклад в этой области учёных Института радиотехники и электроники и Акустического института РАН, МГУ, СГУ, НГУ, Минского радиотехнического института и других ВУЗов, а также отраслевых НИИ Министерств радиопромышленности, средств связи и электронной промышленности. В последнее время вследствие интенсивного развития систем и средств глобальной мобильной связи растёт интерес к применению акус-тоэлектронных устройств на частотах до 10 ГГц.
Создание в 70-х годах высококачественных монокристаллических пленок железо-иттриевого граната (ЖИГ) с шириной линии ферромагнитного резонанса менее 1 Гс позволило начать изучение процессов возбуждения и распространения в них медленных электромагнитных волн, связан-
—5—
ных со спиновой подсистемой, так называемых магнитостатических спиновых волн (МСВ). На основе таких структур возможно создание управляемых магнитным полем линий задержки и полосовых фильтров в более высокочастотном, чем для акустоэлектронных приборов, диапазоне. Исследования в этом направлении широко развернулись как в нашей стране, так и за рубежом. Среди отечественных исследователей основные результаты получены в коллективах, возглавляемых профессорами А.В. Вашковским и П.Е.Зильберманом (ИРЭ РАН), профессором Б.М.Лебедем [НИИ "Домен"), профессором В.С.Стальмаховым (Саратовский госуниверситет), профессором Б.А. Калиникосом (ЛЭТИ), к.т.н. Г.М.Новиковым [ЦНИИИА). Для разработки устройств на МСВ с высокими техническими характеристиками требовалась теоретическая интерпретация обнаруженным экспериментально новым типам волн, не объяснявшимся существовавшими теориями.
Глубокие исследования свойств сегнетоэлектриков, начиная с работ И.В. Курчатова в 30-х годах, Б.М. Вула в 40-х и продолженных Г.А. Смоленским, позволили создать сегнетоэлектрические материалы с относительно «алыми высокочастотными потерями. Это дало возможность начать исследования процессов распространения электромагнитных волн в этой Зогатой физическими эффектами среде. Подробные исследования этих процессов в нашей стране проводились в ЛЭТИ под руководством профессора О.Г.Вендика, в НПО "Светлана" под руководством д.т.н. Г.С.Хи-жы, в Ростовском университете под руководством профессора В.П. Дуд-кевича, однако полученные в этих коллективах результаты ограничивались сантиметровым диапазоном длин волн. Поэтому значительный научный и практический интерес представляет развитие этих работ в миллиметровом диапазоне длин волн.
Открытие высокотемпературной сверхпроводимости (ВТСП) вызвало эгромный поток работ по исследованию взаимодействия этого нового класса зеществ с электромагнитными полями. Это связано как с возможностью использования ВТСП материалов для создания сверхпроводящих электротехнических и радиотехнических устройств, работающих при азотных температурах, так и с проблемой измерения параметров самих ВТСП материалов. Исследования свойств ВТСП материалов интенсивно осуществляются с момента их открытия во всем диапазоне высоких, сверхвысоких и крайневысоких частот электромагнитных колебаний. Во многих организациях, занимавшихся этой проблемой (НПО "Исток", НИИ "Домен", ЛЭТИ, ФТИНТ), были созданы установки для измерений на СВЧ и ЕШЧ поверхностного импеданса ВТСП как одного из наиболее информативных параметров. Однако погрешности измерений существовавших тогда установок были слишком велики (сотни процентов), что затрудняло растет и исследования характеристик электромагнитных волн в структурах с ЗТСП. Поэтому возникла необходимость в дополнительном исследовании
—6—
особенностей электромагнитных колебаний в резонансных электродинамических структурах с частичным включением ВТСП для повышения чувствительности системы измерения СВЧ поверхностного импеданса ВТСП, сочетающей быстроту и высокую точность измерений с инвариантностью к геометрическим размерам и форме измеряемых образцов.
Большой научный и практический интерес вызывает в последнее время проблема бесконтактного (с помощью лазерного излучения) возбуждения и преобразования СВЧ и КВЧ сигналов в структуре арсенид-галлиевого полевого транзистора с барьером Шоттки (ПТШ)- наиболее распространенного активного элемента в СВЧ и КВЧ диапазонах. Такие работы широко ведутся как за рубежом, так и в нашей стране - в физико-техническом институте им. А.Ф.Иоффе, НИИМЭ (г. Зеленоград), Саратовском госуниверситете и ЦНИИМА. Большая часть известных работ посвящена исследованиям взаимодействия непрерывного лазерного излучения с ПТШ, позволяющего изменять его статические и динамические характеристики. Известны также работы по использованию импульсного лазерного излучения для возбуждения в подводящей линии передачи короткого электрического импульса с помощью ячейки Остона, а также для изменению состояния триггера на ПТШ при непосредственном облучении затворной области. Однако оставались неисследованными, например, процессы формирования входного сигнала ПТШ с помощью ячейки Остона, когда последняя нагружена не на волновое сопротивление линии передачи, а на комплексный импеданс ПТШ. Также не были исследованы процессы возбуждения СВЧ сигнала в ПТШ, протекающие при облучении непрерывным модулированным или многомодовым лазерным излучением непосредственно затворной области. Исследование этих процессов имеет самостоятельный интерес для понимания радиофизических процессов в ПТШ при взаимодействии с лазерным излучением, а также даёт возможность решить одну из сложнейших задач измерительной техники - задачу бесконтактного измерения параметров СВЧ ПТШ и ИС непосредственно на кристаллической пластине, содержащей многие сотни и тысячи таких элементов.
Целью диссертации является поиск новых явлений и закономерностей при возбуждении и преобразовании акустических, спиновых и электромагнитных волн и колебаний в твердотельных структурах, включающих пьезоэлектрик, сегнетоэлектрик, ферромагнетик, высокотемпературный сверхпроводник и структуру арсенид-галлиевого полевого транзистора, представляющих собой взаимодополняющий ряд физических процессов, обеспечивающий формирование временных и частотных характеристик радиосигналов в широком частотном диапазоне (108Гц-10пГц).
В задачи исследований входит следующее: 1. Создание теоретических методов и программ расчёта волновых и коле-
бательных процессов, происходящих при возбуждении и преобразовании СВЧ и КВЧ сигналов в электродинамических системах, включающих твердотельные структуры.
2 Проведение экспериментальных исследований волновых и колебательных процессов, происходящих в твердотельных устройствах при возбуждении и преобразовании СВЧ и КВЧ сигналов, интерпретация полученных резуль-татов на основе выявленных с помощью разработанных теоретических методов новых эффектов и закономерностей, а также исследование возможностей их применения для улучшения характеристик существующих и создания перспективных устройств формирования и обработки сигналов, а также измерительных систем.
-
Предсказано теоретически и обнаружено экспериментально, что при распространении ПОАВ происходит возбуждение ПАВ, распространяющейся под углом к ПОАВ.
-
Впервые теоретически и экспериментально показано, что фазовые и температурные характеристики ПОАВ, с высокой точностью определяются в приближении плоской ОАВ с волновым вектором, направленным вглубь кристалла, но с вектором групповой скорости, направленным по поверхности кристалла.
-
Методом функции Грина впервые рассчитана АЧХ фильтра на ПОАВ. С использованием рассчитанной функции Грина исследована пространственная структура ПОАВ, определены асимптотические декременты затухания как сдвиговых, так и продольных ПОАВ.
-
Теоретически и экспериментально показано, что снижение потерь на распространение в фильтрах на ПОАВ вследствие нанесения между ВШП металлической плёнки обусловлено не только преобразованием ПОАВ в волну Гуляева-Блюстейна, но также и в волну Лява.
-
Впервые проведено теоретическое исследование возбуждения ПАВ встречно-штыревым преобразователем с неапертурной аподизацией по соотношению штырь/зазор. Впервые показано, что АЧХ таких преобразователей становится симметричной при геометрической компенсации пространственной неоднородности скорости ПАВ.
-
Предложен новый способ возбуждения акустических колебаний с помощью электродной структуры в постоянном магнитном поле.
-
Построены комплексные стационарные функционалы и на их основе вариационным методом впервые решены задачи о распространении МСВ в ферромагнитных плёнках конечной ширины при произвольном направлении подмагничивающего поля и о распространении МСВ вдоль периодической многополосковой электродной структуры. Построенные методы расчёта впервые позволили дать интерпретацию и исследовать структура открытых экспериментально новых типов МСВ - обратных по-
—8—
верхностных и краевых волн.
-
Для уменьшения отражения ЭМВ от слоистой структуры с сегне-тоэлектрической пленкой впервые предложено и осуществлено формирование с помощью ионной имплантации в сегнетоэлектрической плёнке участков с плавной неоднородностью диэлектрической проницаемости. Это позволило впервые создать лабораторные образцы фазовращателя и согласующего трансформатора с бестоковым управлением в миллиметровом диапазоне длин волн.
-
Теоретически впервые исследованы медленные волны электрической поляризации в слоистой структуре, включающей слой сегнетоэ-лектрика (высшие типы ЭМВ). Обнаружено, что в запрещённой для неограниченного сегнетоэлектрика области частот существуют высшие моды слоистой структуры. Показана возможность возникновения модуляционной неустойчивости у высших типов волн слоистой структуры с сегнетоэ-лектриком.
10. Исследованы особенности, отличающие измерения СВЧ поверхностного импеданса ВТСП материалов от измерений классических (низкотемпературных) сверхпроводников. С помощью строгого электродинамического анализа впервые получены количественные соотношения для погрешности измерений поверхностного импеданса ВТСП наиболее точным резонаторным методом с применением объёмного и диэлектрического резонаторов. Впервые количественно обосновано значительное преимущество использования диэлектрического резонатора перед объёмным при измерениях СВЧ поверхностного импеданса ВТСП.
11. Предложен и теоретически исследован бесконтактный способ возбуждения в ПТШ сигналов СВЧ при воздействии лазерного излучения на зазор в затворном электроде. Показано, что при таком возбуждении импульс входного тока может иметь длительность меньше, чем возбуждающий оптический импульс.
12. Предложен и исследован бесконтактный способ возбуждения СВЧ сигнала в ПТШ при воздействии на затворную область ПТШ модулированного или многомодового лазерного излучения. Показано, что в токе стока вклады фоторезистивного эффекта и эффекта поля могут быть разделены выбором затворного потенциала. Экспериментально показана эквивалентность электродинамического (контактного) и оптического (бесконтактного) методов возбуждения входного СВЧ сигнала при малосигнальных измерениях коэффициента усиления ПТШ.
1. Предложено для подавления паразитных сигналов прямого и многократного прохождения в СВЧ линии задержки радиосигнала на объёмных акустических волнах применить составной звукопровод с косой поглощающей акустической связкой. На конструкцию такой линии задержки получено авторское свидетельство.
—9—
2. Показано, что фильтры, использующие преобразователи с неапер-турной аподизацией по соотношению штырь/зазор более устойчивы к случайному разбросу координат штырей и в них реально может быть получено внеполосное подавление на 10-15 дБ больше, чем, в фильтрах с традиционной аподизацией.
-
Для возбуждения акустических колебаний в звукопроводах, не обладающих пьезоэффектом, предложен и защищен авторским свидетельством магнитный способ возбуждения акустических волн с помощью поверхностной электродной структуры. Получены оценки эффективности возбуждения ПАВ, а также на основе предложенного способа рассмотрены возможные решения проблемы неразрушающей дефектоскопии металлических покрытий полупроводниковых пластин большой площади, а также количественных неразрушающих измерений величины адгезии металлических покрытий диэлектриков и полупроводников
-
Разработан метод расчета топологии и АЧХ фильтров на ПОАВ. Показано, что при аподизации входного ВШП по закону обратному пространственному затуханию ПОАВ значительно уменьшаются искажения формы АЧХ фильтра на ПОАВ. Так, например, глубина нулей АЧХ увеличивается более, чем на 10 дБ. Результаты расчётов хорошо соответствуют экспериментальным данным и использованы при создании фильтров на ПОАВ в диапазоне до 3 ГГц.
5. Предложено и защищено авторским свидетельством устройство для полосовой фильтрации СВЧ сигналов на ПОАВ, в котором используется преобразование типа волны и сжатие акустического потока при отражении от поверхности кристалла под углом, близким к критическому. В таком устройстве существенно снижаются вносимые потери.
-
Обнаруженная эмиссия ПАВ при распространении ПОАВ показывает механизмы дополнительного увеличения вносимых потерь в фильтрах на ПОАВ и появления паразитных сигналов, вызванных ПАВ, отражёнными от боковых граней звукопровода.
-
С помощью разработанных методов расчёта МСВ в волноведущих ферромагнитных структурах с поперечными размерами, сравнимыми с длиной волны, определены геометрические и конструктивные параметры рассмотренных структур, при которых возможно создать линии задержки на МСВ с уникальными характеристиками, например, полосой частот бездисперсионной задержки (отклонение от номинала Dt J 0.5 не) более 1 ГГц.
-
Учёт особенностей электрического поля на краях полосковых электродов в построенном электродинамическом методе расчета многополосковых линий передачи в многослойной структуре, включающей слой сегнетоэ-лектрика, позволил установить, что значения критических длин волн коротковолновой и длинноволновой отсечек в ІЦЛ и коротковолновой отсечки в КЛ в основном определяются параметрами сегнетоэлектрического
—10—
слоя даже при очень малой его толщине (~1-ь10мкм). Полученные численные результаты позволили разработать и исследовать конструкции фазовращателей и согласующих трансформаторов миллиметрового диапазона длин волн.
9. Показано, что в толстых (>1 мм) сегнетоэлектрических слоях первая
высшая мода существует в сантиметровом диапазоне и может обеспечить
замедление СВЧ сигнала на порядок больше, чем на основной моде. Кро
ме того, показано, что, измерение на выходе линии передачи частоты
автомодуляции медленной волны поляризации, позволяет определить ам
плитуду входного электромагнитного сигнала.
10. Исследован оригинальный автогенераторный метод измерения доб
ротности СВЧ резонатора с использованием амплитудной низкочастотной
автомодуляции. Экспериментально показано преимущество этого метода
по точности перед методом калиброванного фазовращателя, наиболее
точного из известных. Так подтвержденные погрешности измерения доб
ротности составили 0.3% и 5% соответственно. На базе этого метода
впервые создан автоматизированный лабораторный макет промышленно
го измерителя СВЧ поверхностного импеданса ВТСП, для измерений в
интервале температур 5-300К с погрешностью не более 30% на уровне
величин поверхностного сопротивления R=2 -10"4Ом/П, что на два по
рядка меньше поверхностного сопротивления меди.
11. Обнаруженное явление уменьшения длительности электрического
импульса входного тока ПТШ по сравнению с вызвавшим этот ток опти
ческим импульсом может быть использовано для создания генератора
ультракоротких электрических импульсов.
-
Найденная зависимость выходного тока ПТШ от концентрации фото-рождённых носителей и полученное на основе этой зависимости условие разделения вкладов от фоторезистивного эффекта и эффекта поля позволили построить методику бесконтактного лазерного контроля ПТШ, реализуемую в ОКР, выполняющейся в ЦНИИИА.
-
Предложен и защищен авторским свидетельством способ электрооптической дефлекции для бесконтактного измерения амплитуды выходного СВЧ сигнала ПТШ, позволяющий исключить систему накопления сигнала, проводить измерения в реальном масштабе времени и значительно упростить конструкцию полностью бесконтактных автоматизированных систем контроля СВЧ ПТШ и ИС на пластине.
Указанные результаты были получены в ходе выполнения более 20 НИР и ОКР, проводившихся в НПО "Алмаз"(Саратов), ЦНИИИА(Са-ратов) и Саратовском госуниверситете. Большинство исследований выполнялось в соответствии с Планами важнейших работ (НИР и ОКР) Министерства электронной промышленности, Госкомитета по оборонным отраслям промышленности, а также по гранту Минвуза России №01.9.4000.50.22
—11—
Основные результаты работы были использованы или внедрены
а) в разработки линий задержки и фильтров на объёмных, поверхност
ных и приповерхностных акустических волнах в НПО "Алмаз";
б) в разработки устройств на МСВ в НПО"Алмаз" и ЦНИИИА;
в) в разработку электрически управляемых фазовращателя и согласую
щего трансформатора миллиметрового диапазона на сегнетоэлектричес-
кой пленке (ЦНИИИА);
г) в разработку измерительной системы для промышленной метрологи
ческой аттестации ВТСП материалов (ЦНИИИА, НПО "Исток");
д) в разработку системы для бесконтактного контроля СВЧ ПТШ на пластине (ЦНИИИА).
Материалы диссертации использованы также в разработанном курсе лекций "Физика твердого тела, часть 3", а также в практикуме по методам измерений параметров полупроводниковых материалов и структур на филиале кафедры физики твердого тела в ЦНИИИА.
Личный вклад соискателя : В работах с соавторами соискателю принадлежит ведущая роль в постановке задач, теоретическом и численном исследовании, а также в объяснении и интерпретации результатов экспериментальных исследований.
На защиту выносятся следующие научные положения:
1. Температурные характеристики приповерхностной объёмной акус
тической волны, представляющей собой часть непрерывного угло
вого спектра объёмных акустических волн, возбуждённых поверх
ностным источником и дающих вклад в электрическое поле на по
верхности кристалла, с высокой точностью определяются в прибли
жении плоской объёмной акустической волны, волновой вектор ко
торой направлен в глубь кристалла, а вектор групповой скорости
направлен по поверхности кристалла.
2. Распространение приповерхностной объёмной акустической волны
сопровождается возбуждением поверхностной акустической волны,
распространяющейся под углом к приповерхностной.
-
При решении электродинамических задач вариационным методом с естественными граничными условиями эффективные алгоритмы вычислений получаются при применении комплекснозначных стационарных функционалов, построенных путём смешивания в квадратичной форме полей из смежных частичных областей.
-
В ограниченных по ширине ферромагнитных плёнках спектр вол-новодных мод магнитостатических спиновых волн расширяется в запрещённые для неограниченных структур диапазоны частот. Так при продольном подмагничивании спектр обратных объёмных волн расширяется в область поверхностных волн тем больше, чем мень-
—12—
ше ширина ферромагнитной плёнки. В диапазоне поверхностных волн существуют краевые типы волн. При косом подмагничивании в плоскости ферромагнитной плёнки от её ширины зависит угол, при котором меняется знак групповой скорости волн.
-
Характеристики распространения ЭМВ в планарных линиях передачи на слоистой структуре с сегнетоэлектриком определяются главным образом параметрами сегнетоэлектрической пленки даже при очень малой толщине сегнетоэлектрического слоя (значительно меньше длины замедленной волны), а отражения ЭМВ от таких линий передачи значительно снижаются при неоднородной ионной имплантации пленки с увеличением дозы облучения к согласуемому входу линии передачи.
-
Относительная ошибка измерений СВЧ поверхностного импеданса ВТСП материалов резонаторным методом с применением в качестве резонансной структуры диэлектрического резонатора на порядок меньше, чем при использовании объёмного цилиндрического резонатора.
-
При воздействии многомодового или модулированного лазерного излучения на затворную область ПТШ переменная составляющая тока стока, возникающая вследствие фоторезистивного эффекта и эффекта поля, при напряжения на затворе близком к напряжению отсечки определяется преимущественно эффектом поля.. При малосигнальных измерениях коэффициента усиления ПТШ возбуждение входного СВЧ сигнала электродинамическим или оптическим методами эквивалентно.
Публикации В диссертации содержатся результаты, основная часть которых опубликована в 62 печатных работах и 11 научно-технических отчётах. В числе публикаций 13 статей в журналах РАН "Радиотехника и электроника"[1-12] и "Письма в ЖТФ" [13], 6 статей в центральных отраслевых и межвузовских журналах [14-19], 8 работ опубликовано без соавторов, на технические решения, изложенные в диссертации, получено 5 авторских свидетельств на изобретения [20-24].
Апробация работы
Материалы диссертации докладывались на Международном симпозиуме по электромагнитной теории URSI, Стокгольм, 1990 г., на 11-ой Международной конференции по гиромагнитной электронике и электродинамике, Алушта, 1992 г., на 3-ей Международной конференции по теоретической и вычислительной акустике, Ньюарк, США, 1997 г., на 17-ой Международной конференции ULTRASONIC INTERNATIONAL '97, Делфт, Нидерланды, 1997 г., а также на Всесоюзных конференциях по акустоэлектронике и квантовой акустике, по интегральной электронике СВЧ, по микроэлектронике, по проблемам получения и применения сег
—13—
нето- и пьезоэлектрических материалов, по спиноволновой электронике и электродинамике, по взаимодействию электромагнитных волн с полупроводниковыми и полупроводниково-диэлектрическими структурами, по проектированию радиоэлектронных устройств на диэлектрических волноводах и резонаторах, по математическому моделированию и САПР радиоэлектронных систем СВЧ на ОИС, на Всероссийских научно-технических конференциях "Электроника и информатика", "Оптические, радиоволновые, тепловые методы и средства неразрушающего контроля", на 6-ой школе-семинаре по электронике СВЧ, а также на многочисленных межотраслевых, отраслевых и межвузовских научно-технических конференциях, совещаниях и семинарах. Материалы диссертации были рассмотрены и одобрены на объединённом семинаре кафедр физики твёрдого тела, радиофизики, электроники и волновых процессов СГУ.
Структура и объём работы
Диссертация состоит из введения, 5 глав и заключения, списка работ автора по теме диссертации из 73 наименований на 9 страницах и списка цитируемых работ из 192 наименований на 14 страницах. Общий объём диссертации - 325 страниц, включая 118 рисунков и 2 таблицы.
