Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Борун, Александр Феликсович. Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1995.- 30 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-3/2642-7
