Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Бухалов, Лев Леонидович. Физико-химические процессы при формировании активных структур на поверхности арсенида галлия и их оптический контроль при создании интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Санкт-Петербург, 1993.- 19 с.: ил.
