Электронная библиотека диссертаций и авторефератов России
dslib.net
Библиотека диссертаций
Навигация
Каталог диссертаций России
Англоязычные диссертации
Диссертации бесплатно
Предстоящие защиты
Рецензии на автореферат
Отчисления авторам
Мой кабинет
Заказы: забрать, оплатить
Мой личный счет
Мой профиль
Мой авторский профиль
Подписки на рассылки



расширенный поиск

Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Подрядчиков Сергей Федорович

Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда
<
Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда
>

Диссертация - 480 руб., доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников

Подрядчиков Сергей Федорович. Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 : Петрозаводск, 2004 118 c. РГБ ОД, 61:04-1/659

Введение к работе

Актуальность темы исследований.

В представленной работе проведены экспериментальные исследования влияния пылевых плазменных структур, образованных макрочастицами А12Оз на спектральные и электрические характеристики стратифицированного тлеющего разряда низкого давления.

Плазма с макроскопическими частицами дисперсной фазы представляет собой низкотемпературную плазму, содержащую жидкие или твердые частицы вещества малых размеров. Макрочастицы эффективно взаимодействуют с заряженными компонентами плазмы и поэтому могут влиять на свойства плазмы.

Условия существования плазмы с макрочастицами могут значительно варьироваться. Благодаря большим зарядам, которые могут

приобретать макрочастицы (порядка 102 — 104)е, параметр межчастичного взаимодействия Г, определяемый, как отношение энергии кулоновского взаимодействия, частиц к энергии их теплового движения, может намного превышать единицу, что означает возникновение сильнонеидеальной плазмы[1].

Теоретические расчеты равновесных свойств такой плазмы показывают, что при определенных условиях сильное межчастичное взаимодействие приводит к возникновению упорядоченной структуры в расположении макроскопических частиц, аналогичной структурам в жидкости или твердом теле[2].

Несмотря на то, что впервые пылевая плазма в лабораторных условиях была обнаружена Лэнгмюром еще в 20-х годах нашего столетия, тем не менее, эксперименты по ее изучению активно начали проводиться лишь с 90-х годов. Широкий круг прикладных задач, таких как изучение продуктов сгорания ракетных топлив, изучение пылевых образований в атмосфере Земли и в космическом пространстве, появление пылевой плазмы при производстве полупроводниковых интегральных элементов, делает актуальными задачи всестороннего изучения феномена пылевой плазмы для осознанного управления ее свойствами и использования^]. Это в полной мере относится к вопросам изучения упорядоченных структур-пылевых "кристаллов", самоорганизующихся при определенных условиях в такой плазме [4].

Любые возмущения конденсированной дисперсной фазы в процессе обработки полупроводникового материала

а 3=ЙЗ

(Нігтів

! оэ wuWT4r#

на поверхность изделия и снижению числа выхода годных элементов. Поэтому изучение свойств пылевого кристалла, механизмов его образования и роста внесет вклад не только в основы фундаментальной физики, но и имеет широкое применение в большом числе прикладных задач.

Цель диссертационной работы заключается в изучении свойств пылевого плазменного кристалла с использованием оптико-спектральных методов диагностики:

  1. изучения влияния образования и роста пылевой структуры на спектральные и электрические характеристики газового разряда

  2. изучения области существования пылевой плазменной структуры и влияния параметров разряда (тока, напряжения, давления) на характеристики структуры пылевого образования

  3. разработке методик диагностики плазменного кристалла в процессе его формирования и роста

  4. разработке программно-аппаратного автоматизированного комплекса для проведения исследований, обработки и представления результатов.

Научная новизна работы заключается в том, что в ней впервые проведены комплексные исследования пылевой плазменной структуры с использованием оптико-спектральных методов.

Осуществлено исследование области существования пылевого плазменного кристалла в газовом разряде в широком диапазоне токов, напряжений, давлений и определены области, в которых фазовое состояние исследуемой пылевой структуры можно определить как кристаллическое, жидкое, газообразное.

Исследовано влияние вброса макрочастиц и последующего образования пылевой структуры на спектральную мощность излучения из области ее существования и изменение параметров газового разряда с теми же условиями, но без ее наличия.

Осуществлено выращивание упорядоченной плазменно-пылевой структуры и на различных этапах ее роста определены размеры, объем, форма, количество частиц в объеме структуры и среднее межчастичное расстояние для макрочастиц в соответствующих структурах.

Установлены закономерности, связывающие объем и количество частиц в нем для упорядоченных плазменно-пылевых структур из полидисперсных частиц AI2O3 в тлеющем разряде в неоне. Установлено, что в широком диапазоне размеров структуры и числа частиц в них среднее межчастичное расстояние сохраняется и

составляет (1.3 ± 0.05) * 10"2 см.

Установлены закономерности в изменении интенсивностей спектральных линий при модификации "структур" в процессе их выращивания и воздействия на них энергетических потоков и оценена роль различных механизмов возбуждения в условиях проведенных экспериментов.

Разработаны и апробированы оригинальные методики регистрации влияния конденсированной дисперсной фазы на спектральные и электрические параметры газового разряда с использованием относительно новых программных и аппаратных средств диагностики.

Сняты видеопоследовательности о поведении макрочастиц в структурах при различных условиях и объемах структур.

Научная и практическая ценность

  1. Получены новые знания и развиты представления о формировании упорядоченных плазменно-пылевых структур, характеристиках их форм, объемов, строения и фазового состояния в различных условиях их существования, необходимые для развития теории и приложений пылевой плазмы.

  2. Сформирован комплекс технических и программных средств, позволяющий вести в автоматизированном режиме с высокой эффективностью многофакторные и многопараметрические эксперименты, а также обработку их данных по широкому кругу проблематики пылевой плазмы с упорядоченными структурами. Благодаря модульному принципу комплектования программно-аппаратных средств комплекс может быть широко использован в научно-образовательном процессе по различным предметным направлениям.

  3. Сформирована электронная база данных с результатами проведенных экспериментов, протоколами условий их проведения, с результатами обработки данных, позволяющая обеспечить надежными, объективными и достоверными данными и

информацией дальнейшее развитие и интерпретацию этих данных на основе проверки теоретических гипотез, описывающих физику процессов формирования упорядоченных плазменно-пылевых структур и их характеристик.

Положения, выносимые на зашиту

Получен массив экспериментальных данных по влиянию образования пылевой структуры на электрические характеристики тлеющего разряда и массив спектрометрических данных об изменении среды в условиях экспериментов. - Впервые осуществлено выращивание "плазменного кристалла", и в ходе этого процесса изучены форма, структура, зависимости величины объема от числа инжектируемых в него макрочастиц.

Впервые проведены систематические исследования спектров, излучаемых средой с макрочастицами и без них при различных модификациях упорядоченных структур, и оценены механизмы возбуждения для плазмы с частицами КДФ и без них, а также их изменение при росте и модификации упорядоченных структур.

Впервые установлено, что межчастичное расстояние структур не зависит от их величины при заданных внешних условиях, а форма и границы упорядоченной структуры мало изменяются в широком интервале энергетических воздействий на структуру для конкретной системы макрочастица-газ.

Оценены области условий существования различных фазовых состояний упорядоченной плазменно-пылевой структуры определенного вещества макрочастиц в определенной газовой среде (например, АІ2О3 в неоне).

Разработана техника и методика исследований, позволяющие определить влияние образования упорядоченной пылевой плазменной структуры на характеристики (спектральные и электрические) газового разряда низкого давления и осуществлять оптическую диагностику с использованием программно-аппаратного комплекса автоматизированного сбора и обработки результатов измерений на основе программных средств LabView, Instaspec и многофункционального адаптера PC-1802, а также оригинальных программных модулей обработки изображений и отображения результатов исследований.

Апробация результатов работы:

Результаты, представленные в диссертации, докладывались и обсуждались, на научных семинарах кафедры, информационно-измерительных систем и физической электроники ПетрГУ и ИТЭС ОИВТ РАН г. Москва; II Всероссийской научной конференции "Молекулярная физика неравновесных систем" Иваново 2000г.; 3-ей Международной конференции "Физика плазмы и плазменные-технологии" (ФППТ-3, Минск, 2000г).; семинаре академика В.Е. Фортова (Москва, 2000г.); 3-ей Международной конференции "ФНТП-2001" (Петрозаводск 2001г.), 16th Международном симпозиуме по плазмохимии. (Taormina, Italy, 2003.), 30th EPS Conference on Controlled Fusion and Plasma Physics. (St Petersburg, Russia, 2003.), Ha международной конференции физики низкотемпературной плазмы. (PLTP-03. Kiev, Ukraine, 2003).

Публикации

По теме диссертации опубликовано 7 статей и тезисов докладов в

материалах Международных и Всероссийских конференций и

семинаров.

Объем и структура диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы и приложения. Содержит 118 страниц, 36 рисунков и 15 таблиц. Список использованной, и цитированной литературы содержит 81 наименование.

Похожие диссертации на Оптико-спектральные исследования пылевых структур в плазме тлеющего разряда