Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Лобачев Юрий Анатольевич. Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.17.02.- Москва, 2002.- 132 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/1953-8
