Содержание к диссертации
Глава 1 З
Обзор литературы. Постановка задачи и структура диссертации 3
1.1 Обзор литературы 3
1.2 Постановка задачи и структура диссертации 17
Глава 2 20
Методика экспериментальных измерений 20
2.1 Основы зондовой методики 20
2.2 Радиотехническое дифференцирование зондовой характеристики 27
2.3 Влияние ионного тока на зонд на результаты измерения ФРЭ 29
2.4 Установка для измерения второй производной зондового тока 30
2.5 Градуировка измерительной установки 33
2.6 Проверка градуировки 35
2.7 Погрешности зондовых измерений 36
2.8 Установка для проведения оптических измерений 39
Глава 3 42
Разряд с цилиндрической геометрией электродов в электрическом и магнитном полях... 42
3.1 Функция распределения электронов по энергиям и профиль потенциала в разряде в скрещенных полях в гелии 42
3.2 Распределение интенсивности линий атомарного спектра 49
3.3 Самосогласованная структура разряда постоянного тока с замкнутым холловским дрейфом в скрещенных полях 54
Глава 4 69
О кинетике электронов в прианодной области тлеющего разряда в скрещенных полях... 69
Глава 5 80
Формирование алмазоподобных пленок в разряде в скрещенных полях 80
5.1 Получение алмазоподобных пленок и методика исследования их структуры 80
5.2 Результаты и их обсуждение 84
Заключение 88
Литература 90
Введение к работе
Тлеющий разряд представляет собой самоподдерживающийся газовый разряд с холодными электродами при определяющей роли электрического поля объемных зарядов. Характерная структура тлеющего разряда между двумя электродами схематично изображена на рисунке.
