Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Суббота, Юрий Васильевич. Методы лазерного сканирующего контроля дефектности поверхности кремниевых пластин : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Киев, 1993.- 17 с.: ил.