Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Белоусов, Вячеслав Михайлович. Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Моск. гос. ин-т электроники и математики.- Москва, 1996.- 24 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-3/1953-1
