Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации Цыганков, Петр Анатольевич

Для уточнения возможности получение электронной копии данной работы, отправьте
заявку на электронную почту: info@dslib.net

Цыганков, Петр Анатольевич. Исследования физических процессов в высоковольтном газовом разряде низкого давления и разработка метода трехмерной ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.14 / МГТУ им. Н. Э. Баумана.- Москва, 1996.- 15 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-3/393-4