Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Бесогонов, Валерий Валентинович. Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13.- Москва, 1996.- 18 с.: ил.
