Введение к работе
Актуальность. Теория генерационно-рекомбинационных процессов, описывающая работу оптоэлектронных устройств, использует самые простые модели релаксации неравновесных носителей заряда в объеме и на поверхности полупроводников. При рекомбинации с участием центров прилипания (ЦП) и рекомбинации (ЦР) носителей заряда применяется модель Шокли-Рида, сечения захвата оцениваются с помощью приближения Лэкса, полевые зависимости аппроксимируются на основании теории Френкеля-Пуля. Применительно к широкозонным полупроводникам группы А2В6 перечисленные модели недостаточно точны, поскольку данный класс полупроводников характеризуется рядом специфических особенностей. Например, наличие трудно контролируемого состава точечных дефектов кристаллической структуры и остаточных примесей, приводит к появлению в их запрещенной зоне богатого спектра электронных состояний;' большое число макроскопических дефектов (дислокации, границы блоков двойникования и т.п.) в кристаллах приводит к возникновению сильных электрических и упругих полей, что сопровождается флуктуацией зонного потенциала. Перечисленные особенности приводят к тому, что генерационно-рекомбинационные процессы контролируются не одним типом ЦП и ЦР, а всей совокупностью глубоких центров, наблюдаемых в изучаемом образце, а вблизи макроскопических дефектов они существенно отличаются от подобных процессов в «нормальных» областях кристалла. В то же время, однозначное описание процессов генерации и рекомбинации неравновесных носителей заряда в данном классе полупроводниковых материалов весьма важно с точки зрения их практического применения. Последнее обстоятельство заставляет вернуться к поиску простых, но эффективных методов определения характеристических параметров [энергии оптической (Е0) или термической (Е,) ионизации, сечения захвата электрона (Sn) и дырки (Sp), сечения захвата фотона (S>.)], глубоких центров, участвующих в генерационно-рекомбинационных процессах с учетом специфики соединения. Необходимо так же идентифицировать структуру и физико-химическую природу центров и установить особенности их взаимодействия с крупномасштабными нарушениями кристаллической структуры объекта исследования.
Таким образом, проблема глубоких центров и связанная с ней необходимость определения физико-химической природы, структуры, характеристических параметров и построение моделей генерационно-рекомбинационных процессов в полупроводниках со сложным энергетическим спектром локализованных состояний и нарушенной трансляционной симметрией кристаллической структуры представляют собой весьма акту-
альпую задачу физики полупроводников и полупроводникового приборостроения.
Настоящая диссертационная работа и посвящена в основном решению этой проблемы в широкозонных соединениях группы А2В6, являющихся представителями большого класса халькогенидных полупроводников и относящихся к перспективным материалам фото- и оптоэлектрони-ки.
Основная цель диссертационной работы — определение структуры, характеристических параметров, физико-химической природы центров с глубокими уровнями, обуславливающих фото-, термоактивацион-ные и люминесцентные свойства соединений А2В6.
Для достижения поставленной цели решаются следующие задачи:
методами фото- и термоактивационной спектроскопии определяются энергетический спектр электронных и дырочных состояний, сформированных глубокими центрами;
на основании существующих теорий фото- и термоактивационной спектроскопии разрабатываются алгоритмы и вычислительные процедуры позволяющие с достоверной точностью определять характеристические параметры ЦП;
определяются структура, характеристические параметры и физико-химическая природа ЦП и ЦР в образцах различного химического состава;
проводится классификация ЦП и изучаются особенности генера-ционно-рекомбинационных процессов с участием быстрых и медленных электронных и дырочных ЦП в образцах с различным типом макроскопических дефектов, находятся диагностические признаки наличия коллективных электрических полей этих дефектов и предлагаются методы оценки параметров последних;
сравнением теоретически рассчитанных и экспериментальных фото- и термоактивационных спектров доказывается справедливость предлагаемых моделей генерационно-рекомбинационных процессов с участием глубоких центров, протекающих в монокристаллических полупроводниках с нарушенной трансляционной симметрией.
Экспериментальные исследования проводились с применением комплекса методов, основанных на изучении спектральных и кинетических характеристик примесной и индуцированной примесной фотопроводимости, термостимулированного тока, фото-, термо- и электролюминесценции, оптического и термического гашения фотопроводимости и люминесценции. При реализации данных методов вариацией уровня фотовозбуждения полупроводника в широких пределах осуществлялось управление квазиуровнями Ферми, что позволило раскрыть широкие методиче-
ские возможности этих методов для изучения особенностей электронной структуры глубоких центров.
Научная новизна работы. Экспериментальные и теоретические исследования, выполненные в диссертационной работе, привели к установлению следующих данных:
Впервые обнаружены:
в кристаллах ZnSe квазилинейчатые спектры ФП и ИПФ, обусловленные распределенными по межатомному расстоянию донорны-ми парами типа (Agi)2 и ассоциатами с их участием;
нетепловой механизм диффузии атомов участвующих в обратимых фотохимических реакциях (ФХР). Результатом их протекания в кристаллах ZnSe является уменьшение концентрации изолированных междоузельных доноров Agf и образование ассоциатов Ag?\ (Ag?)n;
рост неравновесной фоточувствительности полупроводников, обусловленный перезарядкой электронных ЦП;
эффект пространственной модуляции кинетических параметров электронных и дырочных ЦП коллективным электрическим полем макроскопических неоднородностей кристалла.
Впервые представлены экспериментальные доказательства существования в полупроводниковых соединениях ZnSe, ZnS:
быстрых (а-) ЦП и медленных ф-) ЦП. ЦП а-типа связаны с меж-доузельными атомами серебра (Agj), и их ассоциатами; ЦП р-типа обусловлены дефектными комплексами, в состав которых входят вакансии металла, халькогена и остаточные примеси, определены их характеристические параметры и особенности проявления в генерационно-рекомбина-ционных процессах;
оптически активных электронных ЦП с Ее - 0.22 эВ в кристаллах ZnSe;
двухуровневых дырочных и электронных ЦП с весьма близкими фотоэлектрическими свойствами. Энергетические состояния этих центров сгруппированы в две серии уровней Еу + (0.45-0.66) эВ и Еу + (0.06-0.26) эВ в р - ZnTe, Ее - (0.6-0.65) эВ и Ес - (0.14-0.18) эВ в n-ZnS.
Предложены и уточнены модели:
центров излучательной рекомбинации $УК~ - D , обуславливающих длинноволновые полосы самоактивированной люминесценции в соединениях А2В6;
центров сине-зеленой люминесценции сульфида цинка;
центров оранжевой люминесценции сульфида кадмия.
Развиты методы фото- и термостимулированной спектроскопии
глубоких ЦП сложной структуры, основанные на явлении управления ква-
зиуровнями Ферми с помощью вариации уровня фотовозбуждения полупроводника собственным светом.
Научно-практическая значимость работы:
-
Разработаны, теоретически обоснованы и экспериментально проверены новые алгоритмы определения кинетических параметров электронных и дырочных ЦП, основанные на анализе элементарных полос термоактивационных спектров.
-
Предложен метод «оптической очистки» спектров ТСТ, позволяющий определять энергетическую структуру оптически активных ЦП, участвующих в термоактивационных процессах.
-
Предложены методы оценки достоверности определяемых характеристических параметров глубоких центров.
-
Определены характеристические параметры многочисленных центров прилипания и рекомбинации в кристаллах ZnS, ZnSe и ZnTe, нашедших практическое применение в современной оптоэлектронике.
-
Разработана методика легирования кристаллов ZnSe примесью серебра, позволяющая производить их фотоочувствление в средней области ИК-спектра излучения.
-
Предложен метод определения потенциала электрического поля, созданного макроскопической неоднородностью кристаллической решетки полупроводника.
-
Метод экспресс анализа однородности полупроводниковых кристаллов основанный на исследовании спектров ТСТ или ТСЛ.
На защиту выносятся следующие основные положения:
1. В широкозонных полупроводниках ZnS, ZnSe, ZnTe существуют
быстрые (отношение скорости захвата электрона к скорости его рекомби
нации с дыркой R»l) и медленные (R«l) центры прилипания носителей
заряда. Быстрые центры прилипания обладают не только большими сече
ниями захвата электронов (S, = 10"и- 1СГ16 см2), но и фотонов (Sx). Вслед
ствие последнего обстоятельства, они проявляют высокую фотоактив
ность, обуславливая длинноволновую неравновесную фоточувствитель
ность полупроводников.
Медленные же центры прилипания имеют не только малые сечения захвата (St = 1СГ17— 1СГ24 см2) носителей заряда, но и фотонов, поэтому их эффективное исследование осуществляется методами термоактивацион-ной спектроскопии.
2. Наблюдаемые в кристаллах ZnSe медленные (р-) ЦП с уровнями
в интервале энергий Ес- (0.11-0.56) эВ связаны с анионными вакансиями.
Многообразие энергетических уровней электронных ЦП соответствую
щих им спектров ТСТ, ТСЛ и самоактивированной длинноволновой лю-
минесценции — следствие сложной структуры этих центров, обусловленных ассоциатами [(к,?" ->*)' -Vff с их участием.
-
Энергетические состояния дырочных и электронных ЦП в p-ZnTe и n-ZnS сгруппированы в две серии уровней Ev + (0.45-0.66) эВ и Ev + (0.06-0.26) эВ, Ес - (0.6-0.65) эВ и Ес - (0.14-0.18) эВ соответственно. Они связаны с распределенными по межатомному расстоянию вакансионно-примесными парами, в состав которых входят двухуровневые катионная (Ук)и анионная {VA) вакансия. Эти центры относятся к классу медленных ЦП. Они в состоянии с одним носителем заряда проявляют нормальные, а в состоянии с двумя носителями заряда — аномальные кинетические свойства.
-
Аномально малые значения (St = 10~17— Ю-24 см2) сечений захвата носителей заряда медленных центров прилипания в кристаллах ZnS, ZnSe, ZnTe — результат взаимодействия этих центров с макроскопическими дефектами, создающими сильные электрические поля, что сопровождается флуктуацией зонного потенциала и модуляцией им этого кинетического параметра центров.
-
Быстрые (а-типа) (Е0 = 0.21 эВ, Sn ~ 10~14 см2) ЦП электронов в кристаллах ZnSe, обусловленные междоузельными атомами серебра. Многообразие энергетических уровней оптически активных электронных
ЦП и соответствующих спектров ИПФ — следствие участия этих \-dg*J центров, в распределенных по межатомному расстоянию ассоциатах типа донор-донорных молекул.
-
Обратимые фотохимические реакции, наблюдаемые в кристаллах ZnSe, являются результатом уменьшение концентрации изолированных междоузельных доноров Agf и образование ассоциатов Agf, {Agf)n. Совпадение энергий оптической и термической ионизации доноров Agf с энергиями активации процессов уменьшения концентрации этих центров и роста концентрации Agf- и (Ag, )„-центров в процессе протекания ФХР свидетельствуют о нетепловом характере диффузии доноров Agf.
-
«Эстафетный» механизм участия глубоких донорных уровней ДАП в процессах излучательной рекомбинации, на основании которого объяснены энергетическое положение полос СЗЛ в кристаллах ZnS, их спектральные сдвиги в зависимости от уровня возбуждения (J-сдвиг), температуры (Т-сдвиг) и времени после возбуждения (t-сдвиг).
Апробация работы: материалы диссертационной работы обсуждались на II Республиканской конференции по фотоэлектрическим явлениям в полупроводниках (г. Одесса - 1982 г.); V Всесоюзном совещании по физике и техническому применению полупроводников А2В6 (г. Вильнюс — 1983 г.); III Всесоюзном и IV Всероссийском совещаниях по физике и
технологии широкозонных полупроводников (г. Махачкала — 1986, 1993 гг.); Международных конференциях "Центры с глубокими уровнями в полупроводниках и полупроводниковых структурах" (Ульяновск -1997 г.) и "Оптика полупроводников" (Ульяновск - 1998-2000 гг.), "Оптика, оптоэлектроника и технологии" (Ульяновск - 2001-2003 гг.), VI Всероссийской конференции по физике полупроводников (Санкт-Петербург — 2003 г), "Оптика, наноструктуры и технологии" (Сочи - 2004, Владимир -2005 и Ульянове - 2006 гг.).
Публикации. По теме диссертации опубликовано 38 научных работ из них в центральной и региональной печати 16.
Структура и объем диссертации. Диссертация изложена на 218 страницах, имеет 8 таблиц и 74 рисунка. Список цитируемой литературы содержит 249 наименований.
Диссертация состоит из семи глав, из которых пять являются оригинальными.