Для уточнения возможности получение электронной копии данной работы, отправьте заявку на электронную почту: info@dslib.net
Макарова, Татьяна Людвиговна. Эллипсометрическая диагностика структур полупроводник-окисел : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Центр. н.-и. ин-т "Электрон".- Санкт-Петербург, 1993.- 18 с.: ил. РГБ ОД, 9 93-2/2862-4
