Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств Дулькин, Александр Евгеньевич

Для уточнения возможности получение электронной копии данной работы, отправьте
заявку на электронную почту: info@dslib.net

Дулькин, Александр Евгеньевич. Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе.- Санкт-Петербург, 1993.- 18 с.: ил. РГБ ОД, 9 93-3/551-3