Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии Эмексузян, Вячеслав Мелконович

Для уточнения возможности получение электронной копии данной работы, отправьте
заявку на электронную почту: info@dslib.net

Эмексузян, Вячеслав Мелконович. Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т физики полупроводников.- Новосибирск, 1993.- 18 с.: ил. РГБ ОД, 9 93-2/575-6