Введение к работе
Актуальность проблеми. Реакции яолимераналогичкнх превращений многих полимеров.позволяют расширить возможности синтеза разнообразных высокомолекулярных соединений' и применения, их в , различных областях для получения новых материалов и изделий са специфическими свойствами.
Одной из важных областей широкого применения ^нкпиоаальвых полимеров является использование их при изготовлении электронных микросхем, т.е. использование в качестве с[ото-, электроне- и ре-нтгенорезистов. Миниатюризация электронных микросхем и переход современной электронной промышленности от фотолитографии в их производстве к электронной литографии, требует.получения .элект— роворезистов, обладающих высокой чувствительностью и разрешаюіцбй способностью. Используемые в настоящее время в качестве элэктрс— норезистов производные полистирола, имеющие в своем составе хло-рметилыше группы или галоген, не в полной степени отвечают ъро~. бованиям, предъявляемым резистам.
Улучшение характеристик таких полимеров требует введения в состав полистирола функциональных групп, чувствительных к действию быстрых электронов, рентгеновского излучения, а также групп, улучшающих адгезию с подложкой. Причем, актуальным в последние года является проведение полимеранелогичных превращений с сохранением исходных молекулярно-шесовых характеристик.
Цель работы заключалась в модп^якания полистирола с сохранением исходных молекулярно-массовых характеристик и получении ' функциональных полимеров,.пригодных для использования в качества высокочувствительных плазмостоііких электронорезистов, отвечающих всем предъявляемым им требованиям.
Научная новизна. Впервые на примера галогешрозания полистирола показана возможность проведения реакции галогенарования полистирола с регулируемой стеценьв замещения, без изменения молекулярно-массовых характеристик исходного полистирола.
На примере реакции конденсации иодированного полистирола о непредельными соединениями впервые при проведении полимэрава-логичннх превращений полистирола использованы праеиц и методы гомогенного катализа, а также показана возможность использоззвзя хорошо изученных реакций конденсации иодаренов с непредеаншж соединениями при проведении.полимзраналогйчнше превращение.
_ 4 -
. Предложен способ для получения карбоксильных производных полистирола, включающие проведение ряда полимераналогичных превращений полистирола и позволяющий получать конечный продукт с заданной степенью замещения, без значительных .изменений молекуляр-но-массовых характеристик полистирола*
Практическая ценность, Разработанные методики могут быть использованы для модификации полистирола с сохранением исходных мо-лекулярно-массовых характеристик. Функциональные производные полистирола, полученные в результате выполнения работы с успехом могут быть использованы в качестве высокочувствительных шизмос-тойкнх электронорезистов.
Апробация работы. Материалы диссертации доложены на 3-х Региональных конференциях в 1987 г. ( г.Томск), в 1991 г.( г. Томск) и в 1992 г. ( г.Томск).
Образцы электронорезистов поставлялись в ЩШТТ для проведения научно-исследовательских и .опытно-конструкторских работ по изготовлению промежуточных 5отооригиналов И СБііС.
Публикации. Основные материалы диссертационно'/ работы освещены в 3-х статьях, препринте и изложены в 5-ти докладах на научных конференциях.
Положения выносимые на защиту.Реакшш галогешровашш полистирола с регулируемой степенью замещения; каталитические реакции конденсации иодпроизводных полистирола е замещенными этиленаш и фенилацетиленом; реакции окисления ацетиленовых производных полії-' стирола с целью получения карбоксильных производных полистирола.
Объем и структура работы. Диссертация состоит из введения, грех глав, выводов и списка использованной литературы из 105 наименований. Работа изложена на 133 страницах шщикописного текста и содержит 15 таблиц и 34 рисунка.