Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Полищук, Григорий Сергеевич. Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Полищук Григорий Сергеевич; [Место защиты: Санкт-Петербургский научно-исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2011.- 190 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/825
