Разработка и исследование процесса электроэрозионного упрочнения инструмента в жидком азоте Переладов, Николай Петрович Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников Переладов, Николай Петрович. Разработка и исследование процесса электроэрозионного упрочнения инструмента в жидком азоте : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01.- Воронеж, 1994.- 21 с.: ил. Введение к работе Актуальность темы. Проблему повышения4 долговечности инструмента, уменьшения использования дорогостоящих инструментальных материалов во многом решает применение различных способов упрочнения. Существующие методы упрочнения приводят или к образованию микродефектов поверхности (термические, механические)," или же к изменению исходных размеров и форм (электроискровые, плазменные).. Однако, и нанесение износостойких пленок не устраняет приповерхностные трещины, что отрицательно сказывается на работоспособности инструмента. Несмотря на малые размеры, микротрещины являются сильными концентраторами напряжений п при работе инструмента вызывают его скалывание пли повышенный износ. Наличие таких микродефектов на медицинском инструменте не гарантирует отсутствие инфекционных очагов в подповерхностном слое. В отличие от металлорежущего инструмента, здесь не допускается нанесение частиц на рабочую поверхность. .Таким образом, во всех случаях требуется способ и устройства для устранения микротрещин в поверхностном слое с, получением его повышенной стойкости. Цель и задачи исследования. Целью работы является разработка процесса упрочнения, устраняющего приповерхностные микродефекты, создающего микрозоны с высоким сопротивлением износу без изменения размеров и шероховатости поверхности. Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи: — Создать модель протекания процесса, при котором.возможно получение высокостойких к износу приповерхностных участков другого металла. * Разработать режимы, обеспечивающие сохранение режущей кромки инструмента в процессе упрочнения. Исследовать износ электрода и энергоемкость процесса в сравнении с упрочнением на воздухе. Определить область рационального использования'предложенного процесса. Научная новизна и практическая ценность работы. Автором разработан процесс упрочнения, не требующий нанесения на поверхность других сплавов и формирующий бездефектный поверхностный слой с благоприятным расположением участков высокой твердости и относительно мягких для получения высокой стойкости инструмента, особенно при обработке труднообрабатываемых сплавов. Получены высокостойкие режущие инструменты, обеспечивающие наличие высокого качества поверхности. Показана возможность и целесообразность применения исследуемого процесса для медицинского инструмента с целью повышения стойкости и устранения микродефектов, способствующих распространению инфекций. На защиту вносятся: Разработанный метод упрочнения металлических поверх1-постен в среде жидкого азота, обеспечивающей получение в поверхностном-слое локальных участков нитрида титана. Физическая модель протекания процесса при перподи» че-ском воздействии криогенных температур и мощных тепловых источников, вызывающих распыление титана. Механизм формирования местных образований )tttf~ рида титана и,устранения имеющихся микротрещнн без налипания на обработанную поверхность частиц титана. Обоснование возможности применения предложенного метода для упрочнения режущего и медицинского инструмента. — Организация участка для упрочнения инструмента в ус-' ловиях машиностроительного завода. Публикации. Результаты пр-едставленных в диссертации -исследований опубликованы в 11 работах. Апробация. Основные положения диссертации докладывались на зональной научно-технической конференция «Современные проблемы коррозии и защиты металлов от коррозии в народном хозяйстве» {т. Уфа, ЦНТИ, .1990), совещании «Новые процессы получения "и обработки металлических материалов» (г. Воронеж, ЦНХИ, J990), региональном научно-практическом семинаре «Применение низкочастотных колебаний в технологических целях* па тему: «Надежность и ресурс работы оборудования и оснащения» (г. Ростов-на-Дону, ДГТЙ, 1994), .международной даучло-иракхической конференции «Ресурсосберегающая технология машиностроения» (г. Москва, ГК. РФ. по ВО, 1994), технических советах заво- дов, в Воронежском Государственном' техническом универси- тете. Работа выполнена при ііаучноТі консультаций к.т.н., доцента Болдырева Л; Й; ЬсновноЁ содержание ЙабЬтЫ І: комбинированные методы упрбЧііення^^*// Известны различные виды упрочнения инструментов. Наибольшее йсполЬзоваііііе получил химический метод повышения нсхйдных характеристик инструментальных материалов путём легирования их различными элементами, в частности, хромом, молибденом, вольфрамом. Другим методом можно назвать термическое улучШёние эксплуатационных свойств материалов (закалка, отпуск п др.). Комбинация этих методов представляют хіімикЬтермнческйе виды обработки (цементация, азотироваййе, цианирование н др.). Эти виды уп-Грчненіія, в основном, но относятся к электрическим методам. Ісключепие составляет азотирование з тлеющем разряде. Научные осНовы. которого заложил академик Б. Р. Лазарен-ко. Процесс протекает при кратной полярности в 2 этапа: очистка nOBepxHoctn її азотирование. Режимы обработки при; ведены в таблице: Этот метод используют для упрочнения деталей основного производства и инструмента. Следующий вид упрочнения — механическое. Оно сопровождает все виды обработки с непосредственным контак- том инструмента с деталью (точение, фрезерование, шлифование, обкатка и др.). Часть таких методов целенаправленно используют для получения поверхностей с заданными характеристиками. Так, по сведениям И. Г. Гринченко, упрочнение конструкционных сталей роликами и чеканкой позволяет получить степень наклепа до 50%. Широко используемый дробеструйный метод позволяет получить, примерно,-те же.напряжения. Сочетание теплового воздействия от внешнего источника тепла (например, плазмотрона) с механическим резанием позволяет получить твердость поверхности в широком диапазоне изменения этого показателя путем регулирования припуска под обработку. По некоторым исследованиям наклеп поверхности легированных сталей после комбинированной обработки резанием с нагревом составляет около 60% по сравнению с 20% при чистом точении. За счет комбинирования воздействий можно получить стабильные сжимающие остаточные напряжения в поверхности. Это, как правило, благоприятно влияет на эксплуатационные свойства изделий. Поверхность деталей после чистовой обработки с нагревом приобретает твердость, близкую к закалке на воздухе. Следует, учитывать, что глубина воздействия нагрева в основном не превышает 0,5—0,7 мм, хотя имеются указания на возможность получения мертепсптного слоя до 5 мм. Довольно широкое применение в практике получили такие комбинированные методы обработки, как электроэрозионно-химическая и ультразвуковая. Первый сочетает анодное растворение и электроэрозию металла. Второй метод получается путем наложения на первый ультразвуковых колебаний. Опыт использования упрочненного режущего инструмента при помощи электроискрового легирования, относящегося к электроэрозионнохимичсскнм методам обработки, показывает, что во всех случаях заметно повышается поверхностная твердость и увеличивается шероховатость. Исследования нанесенного поверхностного слоя подтверждают, что он не представляет монолитной структуры,' а состоит из рыхлых элементов, выступы которых формируют микроповерхность. Под ним находится закаленный слой толщиной 10—30 мкм, который без наплавки не может сопротивляться усилиям, возникающим в процессе резания. Микровыступы наплавленных слоев ухудшают технологические возможности режущих кромок: возрастает сопротивление резанию, повышается шероховатость обработанной поверхности. Это ограничивает область применения электроэрознонного упрочнения. . 6 2. Природа возникновения микротреіцин./?47 Одним из наиболее распространенных поверхностных дефектов .инструмента являются трещины. Трещины по природе своего возникновения разделяются па термические, шлифовочные и термошлпфовочные. Они появляются в том случае, если концентрация внутренних напряжений на участке поверхности выше предела прочности материала на разрыв. Причем, наибольшие напряжения залегают в слое на глубине, не превышающей 50—75 мкм. Обычно трещины представляют собой линейные или сетчатые (в виде многоугольников со сторонами до 5—6 мм) образования. В данной работе рассматриваются микротрещнны, появляющиеся при Шлифовальных и доводочных работах, завершающих цикл изготовления инструмента. Как правило, это сопровождается появлением растягивающих напряжений. Лишь при доводочных операциях па чистовых режимах удается добиться полярных напряжений — напряжения сжатия. Шлифовочные трещины имеют глубину до 0,01 мм (микротрещины) и могут быть расположены иод различными углями (30—80) к поверхности. 3. Процесс упрочнения в жидком азоте и его моделнроиание/>,>/7 Академик Лазаренко Б. Р. предложил в качестве рабочей среды при упрочнении деталей использовать сжиженные газы. Исследования этого процесса В. С. Коваленко показали, что при достаточно длительном охлаждении детали, нанесенії.' упрочняющего слоя невозможно, а в ряде случаев наблюдается съем металла с детали. Это не позволило привести рекомендаций по практическому применению подобного упроч нения. Предлагаемый в работе подход к электроэрозионному упрочнению базируется на новой гипотезе, согласно которой получение поверхности, не имеющей микродефектов н обладающей высокой износостойкостью, возможно в среде сжиженных газов за счет химических реакций, происходящих внутри микротрешин и прикаливання без нанесения на поверхность других металлов. В отличие от традиционных методов электроэрозионного упрочнения применение жидкого азота позволяет получить градиенты температур, не достижимые в других рабочих средах. Подача азота осуществлялась путем полива в зону обработки. Процесс осуществим только при автоматизирован- ном упрочнении, так как в уловиях кипения азота видимость мест разряда очень слабая. На первом этапе (см. «Моделирование процесса упрочнения в жiC;. \и азоте») обработки жидким азотом охлаждают зону уирочі .щия. Поскольку азот удерживается только около струн, а в остальной зоне происходит кипение на границе с заготовкой и весьма незначительное охлаждение поверхности, ю можно на этом этапе принять, что микротрещины сжимаются. Поеле'стабигшзацин температуры (визуально по прекращению пузырькового процесса или экспериментально по времени обработки жидким азотом) в зону обработки подводится электрод и подаются разряды. П.осле каждого разряда возникает область высокой температуры, где происходит испарение азота, нагрев детали, раскрытие микротрещин. Появляется, так называемый, «насосный эффект», при котором в мпкротрещину попадает газообразный азот. Часть материала электрода в состоянии плазмы попадает на поверхность заготовки, разогревая ее, и.в микротрещины. Между плазмой и газообразным азотом возникает реакция образования нитрида титана. Аналогичная реакция может протекать на разогретой поверхности заготовки, однако, в среде жидкого азота катшл разряда сжат До Нескольких Микрон, и плазма воздействует на малую площадь. Вслед за плазмой К поверхности заготовки летят тяжелые частицы расплавленного Материала электрода, но-длительность разряда невелика Я после прекращения теплового воздействии происходит.резкое 6х- .іаждеппе зоны между электродом и заготовкой. Летящие частицы и заготовка снаружи охЛаж'Даются До температуры, при которой становится невозможной диффузионная сварка, Одновременно происходит закалка поверхностного Слоя и за счет градиента температур сжатия нитрида титана в микро-трещине, где температура не может сразу снизиться. Повышенная температура и больїийе контактные усилия На границе микротрещйны ДёлаЮТ возможным диффузионное сращивание нитрида титана с заготовкой. Сам факт появления этой структуры подтвержден металлографическими исследованиями.шлифов. « Моделирование процесса упрочнения в жидком аз<л Стадия
Схема,
- процесса
Жидю^іі азот ЛІихр ompeufn/va Зета/їй | ч »1 ! : /І і 7
7' /по/пі/цлг
Подача жидкого азота на упроинке.мую поверхность. Происходит «.-закрытие» микротрешнн.
Электрический разряд между электродом II деталью. Происходит местный нагрев азога и детали, испарение азота, раскрытие микро-трещин, втягивание в них газообразного азота и ионов тіпана. Движение расплавленных частиц титана к детали. Образован! . и микротрещинах нитрила гитана. 'V ^лЕ:і //7
Прекращение разряда.
Охлаждение поверхно
сти Детали 11 расплав
ленных частиц, отсутст
вие диффузионного
сраЩннания частиц С
четУлыо. Сжатие мпк-
ротрищии и стимулиро
вании диффузионного
процесса МежДу .нитри
дом титана И СтенкамИ
мнкрот рещин,
4, Расчет зоны воздействия теплового источника в среде жидкого азота, fi/j инструмент-эл9ктра д I \ \ электроимпульа і і і Т^ \ V II деталь / / / W s'-ТУ Баланс тепла при упрочнении в жидком азоте. Qn=. Q -Q N Qn — полезное тепло Q'—подводимое при электроэрозионной обработке тепло Q м —тепло, забираемое жидким азотом за время импульса В то же впемя Qn=W-; .где W — эл. мощность установки : — коэффициент полезного действия установки (в. случае обработки в жидком азоте — 0,3) гт Qn с ІІлоіность теплового потока q ———, где Ь — площадь тегг лового пятна, см2. По Н. II. Рыкалппу плотность теплового потока по радиусу пятна q (г)--- (\а -ехр ( — К»г2) где г — расстояние точки от центра пятна нагрева, мм К« — коэффициент сосредоточенности, см-2 .400 R.>2 где R<> — радиус периферии пятна, мм. 10 По А. И. Резникову q—- f(r) изменяется пр закону, близ кг КВт mv к линейному е зависимости рг цо —Г" ' ' ' ' смг *=$ч 5 6 Г
'+- *t tw
Определив экспериментально Ro, находим qo . Напоен эти значения на номограмму, можно определить плотность теплового потока в любой точке зоны воздействия электрода; 5. Энергоемкости процесса./*^/ Энергия импульса Аи— і I U-dt где I — сила тока U — напряжение -и — время протекания импульса - в первом прибл',;женіі'; \u—Icp-Ucp »"u где Icp — средняя «иг ia тока Ucp — среднее зн.'чение напряжения пробоя lep -(0,5-0,75) Ік где Ік — сила тої -. короткого замыкания электродов 1к — устанавливается по приборам установки В нашем случае 1ь 1а "Ucp- (0,5—0,75) Uo где 1,'ч — напряжение холостого хода при разомкнутых злек тродах. В наілем случае Uo=100 вольт Длительность импульса -=0,01 сек. Эксперименты подтверждают, что граничным условием сохранения поверхности инструмента от лункообразования при соблюдении характеристик установки 1а=1й,-и=100в,т=0,01 сек, является энергия импульса Аи=0,35 дж, t 6. Расчет величины смещения оси электрода от кролікі! инструмента.^,?/VJ7 >.'а установках типа ЭЛФА предусмотрено самообучение) включающее повторение трассы, пройденной вручную оператором, автоматической системой установки. Эта трасса прокладывается по режущей кромке инструмента, далее следует сместить ось электрода на постоянную величину от кромки и начать )г, очнение с нанесением на нее металла электрода. Величина смещения зависит от режимов упрочнения, размеров электрода, рабочей среды. Если смещение мало, то возможно повреждение электрическим разрядом кромки*. При излишнем удалении от кромки не достигается эффективность упрочнения рабочих кромок инструмента. Схема расчета смещения оси электрода от кромки приведена на рисунке: Э — электрод; 3 — заготовка; 1 — кромка инструмента; 2, 3 *— кроЧкіі электрода Расстояние рассчитываем, исходя из ВОЗМОЖНОСТИ H3HW ия нитрида титана на кромку I. Известно, что образование нитрида титана происходит при-температуре 1000 К, а температура плавления металла катода 1700 К, эрозия металла на катоде под действием разряда в 5—10 раз ниже, чем,на аноде. В то же время известна картина .распределения тепла в зоне лунки на аноде. Предполагай, что качественная сторона изменения температуры аналогична для обоих электродов, а количественная ^— может быть установлена из- моделирования теплового процесса, определим предельное расстояние от точки 3 до точки 1. Если принять разряд как точечный источник тепла, то схема распределения температур при упрочнении может быть представлена следующим образом, То — температура, при которой может обра- зошпьея нитриД ти
тана Тпл. — температура плавления материала
детали г/Л Ro Следует учесть, что в жидком азоте канал разряда резко сужается. Это установлено с помощью оптической трубки с фильтром противолежащей зоне упрочнения. Так, если канал разряда на катоде в среде дистиллированной воды при напряжении 100 вольт наблюдается размером до 100 мкм, то в среде жидкого азота он просматривается в сечении до 25 Мкм. Точка 1 на инструменте должна принадлежать радиусу, где температура не ниже То, но не выше Тпл., т. к.' иначе или не будет упрочнения, или расплавится режущая кромка. Учитывая равную вероятность отклонения температуры от расчетной за счет внешних воздействий, целесообразно в качестве рабочей величины смещения оси электрода от границы заготовки принять: ^.p-R^ (2) где Ro — радиус изотермы, ограничивающий температуру То Кпл. — радиус изотермы с температурой Тпл. Из теории теплопередачи при условии, что температура окружающей среды равна температуре жидкого азота Ro=K 1/ -— =г—г- (2) У С3рз(То—TN) v ' (3) Rim=K1/ .Лііі!^. С3Р3(Тнл-Т) где в — безразмерный коэффициент, учитывающий свойства электрода и время разряда ,74Fo/8*F„ )'Ть в-є здесь Fo — критерий'Фурье, Fo— o-„ /г2 где і-— температуропроводность материала электрода "„ — время импульса г — текущий радиус для (2)г=-Ко;"для (3) r=RrM 4 и — коэффициент полезного использования энергии импульса ;и *=(1_к,).(1-К2)-(1-Кз) -(1-КО где Ki — потери энергии на нагрев и испарение азота. По нашим исследованиям он составляет не менее 0,65, Кг — потери на нагрев электрода зависят от свойства материала (по Коулу). В пашем случае Кг= 1 — 2ny(m f 1), где m-~ Г'-эсэРэ/зсЛ здесь /.эЛч— коэффициенты теплопроводности электрода И заготовки СЭ;СЯ— удельные теплоемкости электрода и заготовки р«э.ря— плотности материалов электрода и заготовки Из-за кратковременности воздействия импульса, величина Кг не превышает 0,2; 1\3 — учитывает потери энергии в жид-дой среде. Учитывая, что в момент разряда жидкий азот переходит в газ, можно принять Кз—0. Коэффициент К.» ха- рактеризуст изменение напряжения в момент разряда. Обычно эта величина изменяется незначительно и К4=0. Таким образом ;и=0,28—0,30, что в 1,5 раза ниже, чем при электроэрозийной обработке в среде керосина. Однако, такие результаты подтверждаются исследованиями В. С. Коваленко, который указывает на «...Общее снижение уровня эрозии... охлажденных электродов». CU2 Для генераторов с RC схемой Au—Aucp = —^- где С — емкость конденсаторов К — коэффициент, учитывающий перераспределение энергии между электродом и заготовкой. В случае использования жидкого азота К=0,28-=-0,33. Таким образом, получено уравнение в неявном виде для расчета величины смещения электрода относительно кромки. Разработан алгоритм и выполнены вариантные расчеты на ЭВМ для получения величины С, Для титанового электрода с торцевой площадкой радиусом 0,25 мм при времени импульса 0,01 сек. и .энергии импульса 0,35 дж' смещение оси электрода составило 0,263 мм. Проведены экспериментальные исследования, которые показали, что при смещении менее 0,258 мм возникает разрушение режущей кромки инструмента. 7. Исследование износа электрода^^/ Традиционный метод оценки износа электрода по отношению количества снятого материала к увеличению массы заготовки в единицу времени в рассматриваемом случае неприемлем, т. к. металл не наносится на заготовку. Поэтому примем за критерий износа электрода массу металла, удаленного с электрода в единицу времени при скорости перемещения, аналогичной электроэрозионному упрочнению на воздухе. Наиболее рациональной формой электрода показала себя следующая ( D варьируется от 1 до 2 мм): і D і
г^ *i—г- \\Ю I - .'. . 15 Объем снятого с электрода металла : предполагаем У=Услоя Услоя=Ь<п-Ь где Ь— ширина единичной полосы на Заготовке, мм h — толщина слоя упрочняющего материала; мм L — общая длина пути электрода, мм t-f(-) --г- время обработки, сек Пріі постоянной скорости перемещения V _ L '~ V -откуДа \ -н Учитывая, что эрозия тіїтанового электрода в азоте КієпьіііЄ эрозии на воздухе в 4 рай а , / 3 b-h V- Принимая ХҐ,- из режимов обработки, Ь, її определяя экспериментально, получаем D—f(H) D= (0,14-0,12) Н мм йти Н= 104-12 D мм Данное условие справедливо Только Дли первого прохода по режуЩей кромке инструмента, когда важно сохранить оптимальную геометрию электрода с -тем, Чтобы Не повредить кромку. В случае смещения электрода от режущей кромки, Данной зависимостью можно пренебречь. Абсолютный расход- электрода определяется режимом обработки и видом материала электрода. Например, при обработке на воздухе в режиме небольших затрат энергии, максимальный расход электрода ВК.6М 01 мм составляет около 2-Ю-3 Г/мм2 Или 30 мм за 8 часов непрерывной работы. При заданных в работе' режимах и конфигурации титлновогс электрода скорость его разрушения на воздухе составляет 0,008—0,011 Г/мин, в жидком азоте — 0,002—0,003 Г/мин. 8. Результаты испытаний упрочненного инструмента^,, Упрочнялись пазовые фрезы из материала Р6М5. Износ измерялся по радиусу скруглення режущей кромки. Обраба тывалйсь'йазы с шириной 3 мм' и г-лубиной=2 мм в стаям -45
и сплаве ВНС. "" Через'30 минут работы на одинаковых режимах износ фрез-на сплаве ВНС без упрочнения составил по радиусу от 0,35 до 0,5 мм, и они не могли далее применяться без переточки. Упрочненные фрезы имели радиус скруглення кромки от 0,022 до" 0,04 мм и использовались далее около 65 минут. Для стали 45 эффект упрочнения проявился менее заметно (соответственно стойкость возросла с 108 минут до 120). Проводились замеры стойкости упрочненных резцов из быстрорежущей и углеродистой стали. Среднее повышение стойкости для -быстрорежущей стали в 1,5—2 раза, для углеродистой — до 3. Повышение стойкости метчиков Мб из стали Р6М5 при обработке стали 35 составило 2—3 раза по сравнению с исходной. Проведены испытания фрез из твердого сплава ВК6, упрочненных в жидком азоте. Рассмотрение под микроскопом зоны упрочнения показало, что здесь появилось большое количество вторичных трещин с размерами до десятых долей миллиметра. При испытании таких фрез на сплаве ВНС 30% были- сняты со станка через 3—5 минут вследствие выкрашивания режущей кромки, около 40% — проработало в течение 20 минут и также выкрошилось. Стойкость таких фрез без упрочнения составляет не менее ПО минут. Результат можно объяснить высокой хрупкостью сплава и склонностью к тре-щннообразованию при больших градиентах температур. Кроме того, нитрид титана не дает заметных преимуществ перед твердым сплавом и упрочнение такого инструмента электроэрозионным методом нецелесообразно. Для повышения стойкости инструмента его упрочняли на мягких'режимах в среде газообразного азота, но положительного эффекта не- достигли. Перва-я партия упрочненных медицинских скальпелей показала увеличение стойкости инструмента в 1,5 раза и уменьшение времени на'операции стерн лизации. 9. Опыт организации участка для упрочнения инструмента,/5,:<у/ "В Борисоглебском АО «Патроны» были опробованы различные способы упрочнения режущего -инструмента. В настоящее время здесь организован участок-на базе болгарской установки ЭЛФА-731. Опыт эксплуатации участка показал, что доля машинного времени при упрочнении инструмента не превыша-ет 7% общего времени на обработку, т. е. большая часть трудозатрат -уходит на подготовительные операции и организационно-технические мероприятия. Относительно высокое"рабочее напряжение (до 380 В) тре-, бует размещения участка в отдельном помещении. -При этом, работа оператора вручную во время упрочнения крайне нежелательна. Поэтому автоматизированные и автоматические установки наиболее подходят для упрочнения инструмента в среде жидкого азота. Как показал опыт эксплуатации установки ЭЛФА-731, работа в механизированном режиме по заданной программе позволяет значительно повысить производительность труда оператора при достаточно большой партии упрочняемого инструмента. Кроме того; в этом случае обеспечивается выполнение требований к шероховатости и твердости рабочей поверхности инструмента при оптимальном количестве проходов электрода — два. Один проход электрода не позволяет выполнить установленные требования к упрочняемому инст; рументу, а увеличение проходов более двух не ведет к улучшению качества обрабатываемой поверхности. Использование в качестве охлаждающей среды жидкого азота предъявляет более серьезные требования к воздухообмену в зоне обработки, требуя обязательного устройства принудительной вентиляции при работе установки. Применение жидкого азота требует строжайщего соблюдения разработанных инструкций но технике безопасности, и с этой точки зрения и с целью упрощения процесса наиболее перспективным представляется использование газообразного азота в приспособлении со специальным соплом для создания низкой температуры в зоне нанесения покрытия. В пользу этой перспективы говорит и то обстоятельство, что жидкий азот значительно дороже газообразного. |
