Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Сочугов, Николай Семенович. Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.02 / Сочугов Николай Семенович; [Место защиты: Ин-т сильноточ. электроники].- Томск, 2012.- 42 с.: ил. РГБ ОД, 9 12-6/34