Диссертация - 480 руб., доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Голованов Антон Владимирович. Травление планарных структур «алмаз-металл» и «алмаз-диэлектрик» высокочастотным газовым разрядом низкого давления: диссертация ... кандидата Физико-математических наук: 01.04.07.- Москва, 2021
