Введение к работе
Актуальность темы
Развитие технологии напыления для получения аморфных металлических пленок вызвало повышенный интерес к изучению их структуры и свойств. При исследовании аморфних металлических пленок обнаружены неоднородности структуры размером от I им до 10 мкм. Наблюдения, проведенные методами просвечивающей и растровой злектрокной микроскопии с использованием лазерно-дифрактометри-ческой обработки полученных изображений, позволили выделить три размерных уровня неоднородностей структуры :3-5 нм, 10-30 нм и 0,1 - 10 мкм, которые в разных работах связывали с окислением пленок, морфологией поверхности, особенностями магнитной структуры материалов.
Следует подчеркнуть, что из общего анализа работ по микроструктуре аморфных металлических сплавов (АМС) нельзя сделать однозначного вывода о причине образования неоднородностей структуры; а такке о связи кезду их размером и различными свойствами пленок.
В связи с этим, цельв данной работы был анализ особенностей микроструктуры аморфных сплавов полученных из газообразной и кидкой фаз (для систем на основе Nr или Fe ). К основным задачам, которые решались в ходе работы следует отнести :
-
Изучение влияния температурных условий осаждения на морфологию аморфных пленок сплавов на основе Mi' или F« .
-
Формирование структуры пленок сплава на основе Р6^ , используемых в качество сред для термо-магнитной записи (ТЫЗ) информации.
-
Сравнение особенностей формирования контраста в просвечивающем электронном микроскопе (ПЗМ) на аморфных напыленных пленках и закаленных лентах.
Научная новизна. : I. Сложное морфологическое строение АМС - столбчатая стр; к-тура, формируемая в процессе получения их из газовой фазы в зависимости от температурных условий осаздакия (пра близких скоростях осалдечия), может быть трех типов : глобулярная, колснкс&ая и ячеистая.
-
Микроструктура аморфных сплавов на основе Hi или ( ха-гактеризуется кластерами размером 1-2 нм независимо от метода получения их из газообразной или жидкой фаз.
-
Особенности морфологии /столбчатая структура/ АМС, получению из жидкой фазы связаны с образованием оксидов на поверхности фолы.
Практическая значимость
Пленки сплава на основе РеГЪ с глобулярной и ячеистой морфологией при содержании кристаллической фазы не более 10 об.% могут быть использованы в качестве материала для ТМЗ.
Установлены технологические режимы катодного напыления, позволяющие получать пленки с коэрцитивной силой Нс =2 - 3 кЭ и углом вращения Керра ек=0іЕ> -' 0,7 град. Апробация работы
Основные результаты изложены в четырех печатных работах, доложены, и обсуждены на трех конференциях, а именно : Двенадцатая Европейская кристаллографическая конференция, Москва, СССР, август 20 - 29,1989 ; Международный симпозиум по магнито-оптике, сентябрь 10-13, 1991, Харьков, СССР ; ІУ Всесоюзная конференция "Проблемы исследования структуры аморфных материалов", Ижевск, 1992г.
Структура и объем работы
Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, выводов и списка литературы, включающего 109 наименований источников. По объему занимает страниц машинописного тенета, в том числе 7 таблиц и 42 рисунка.