Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера Тюнина, Марина Анатольевна

Для уточнения возможности получение электронной копии данной работы, отправьте
заявку на электронную почту: info@dslib.net

Тюнина, Марина Анатольевна. Модификация поверхности многослойных кремниевых систем излучением KrF лазера : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07.- Москва, 1993.- 24 с.: ил.