Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - бесплатно, доставка 10 минут, круглосуточно, без выходных и праздников
Котляр, Василий Григорьевич. Исследование процессов формирования слоев нитрида кремния на Si(III) и Si(100) при облучении ионами азота низких энергий : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Ин-т автоматики и процессов управления ДВО АН СССР.- Владивосток, 1991.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 01-2/4063-0