Диссертация, - 480 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Автореферат - 240 руб., доставка 1-3 часа, с 10-19 (Московское время), кроме воскресенья
Терентьев Сергей Александрович. Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10, 05.27.01.- Саратов, 2002.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2086-2
