Введение к работе
Актуальность проблемы
С развитием вакуумных технологий происходит все большая концентрация технологических операций в единой вакуумной технологической линии что влечет за собой увеличение числа различных механизмов, служащих для перемещения, позиционирования изделий, а также выполнения технологических операций Эти механизмы должны работать в вакууме и при этом должны иметь низкий износ и не нарушать весьма жесткие требования к чистоте технологической среды, как по общему давлению, так и по парциальным давлениям различных активных газов, особенно углеводородов, оксидов углерода и паров воды Так в установках молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) число кинематических пар достигает нескольких десятков, а требуемое предельное остаточное давление составляет рост= 5 109 Па, допустимое рабочее давление рдоп=6 6 108 Па и парциальные давления активных газов Н2 - 3 108 Па, Н20 -2,6 10"10 Па, СО - 1 3 Ю-10 Па, N2 - 2 10"8 Па, С02 - 1 3 10"' Па
Состав остаточных газов в сверхвысоком вакууме в значительной мере состоит из водорода, а в высоком вакууме - из водорода и паров воды, взаимодействие которых с материалами вакуумных технологических систем может приводить к ряду негативных явлений, таких как водородный износ, образование углеводородов, гидридов и т п, которые приводят к ухудшению качества остаточной среды, способствуют снижению работоспособности оборудования и увеличению издержек производства, связанных с заменой изношенных узлов
Процессы взаимодействия остаточных газов с поверхностями при трении и изнашивании пар трения механизмов, работающих в вакууме, рассматривались в работах Александровой А Т , Папко В М , Деулина Е А , Кужмана А Г и других исследователей Режимы обезгаживания стенок вакуумных камер и внутрикамерной оснастки представлены табличными значениями в справочниках по вакуумной технике Однако, существенное влияние на фрикционные характеристики пар трения и процессы газовыделения в вакууме оказывают сорбированные на поверхности остаточные газы и особенно газы, содержащие водород В известных научных работах эти аспекты работоспособности элементов вакуумного технологического оборудования изучены недостаточно
Поэтому, целью работы является повышение работоспособности пар трения и уточнение режимов обезгаживания элементов вакуумного технологического оборудования путем изучения влияния на эти процессы сорбции остаточных газов
Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи
- уточнить источники, определяющие газообмен при трении в вакууме и
обезгаживании элементов вакуумного технологического оборудования,
разработать модель, связывающую наводораживание металлических элементов вакуумного оборудования с физическими характеристиками материалов и условиями процесса трения в вакууме,
разработать методику экспериментальных исследований для определения параметров наводораживания металлов при трении и при выдержке в водо-родосодержащей остаточной атмосфере или во влажной среде,
разработать стенд и провести экспериментальные исследования процессов газообмена при трении и обезгаживании поверхностей в вакууме,
разработать методику расчета газовых потоков в кинематических парах и на свободных поверхностях элементов вакуумных систем с учетов влияния сорбата остаточных газов
Методы исследований
Теоретические исследования проводились на основе теории теплопроводности, теории адсорбции, теории диффузии в металлах, базировались на основных положениях тепло- массопереноса Экспериментальные исследования включали методы вторично-ионной масс-спектроскопии (ВИМС) и ОЖЕ-анализа для исследования химического состава поверхности и распределения элементов по глубине до 10 мкм Для создания методик расчета процессов наводораживания применялись методы физико-математического моделирования процессов тепло- и массообмена в приповерхностных слоях фрикционных пар
В ходе исследований применялись компьютерные методы - регистрация измеряемых параметров с использованием быстродействующих аналого-цифровых преобразователей (АЦП), расчеты моделей процессов тепло- и газообмена с использованием современных компьютерных программных пакетов
для символьных вычислений, использование современной цифровой фототех-
ники для регистрации процесса фрикционного взаимодействия в ходе экспериментальных исследований Научная новизна
-
Впервые показано, что на работоспособность механизмов, работающих в вакууме, существенное влияние оказывает «наводораживание» материалов кинематических пар, а главным источником растворенного водорода и его изотопов являются адсорбированные слои молекул, в основном воды, на поверхностях пар трения
-
Выявлена взаимосвязь процессов диффузии составляющих сорбата остаточных газов с концентрацией растворенного в приповерхностных слоях водорода для зоны свободной поверхности и зоны контакта для пар трения
-
Разработана математическая модель изменения во времени потока газовыделения при прогреве элементов вакуумных систем, необходимая для уточнения режимов обезгаживания стенок вакуумной камеры и внутрикамерной арматуры
Практическая ценность
Разработана оригинальная методика исследования процессов газообмена в парах трения механизмов, работающих в вакууме, основанная на искусственном наводораживании материалов кинематических элементов
Разработана методика выбора режимов обезгаживания элементов вакуумных систем, учитывающая влияние сорбата остаточных газов и позволяющая дополнить имеющиеся справочные данные по газовыделению прогреваемых вакуумных материалов
Создан компактный вакуумный трибометр оригинальной конструкции, позволяющий проводить исследования вакуумных и фрикционных характеристик материалов в условиях сверхвысокого вакуума
Апробация работы
Результаты работы докладывались и обсуждались на заседаниях каферды МТ-11 «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им Н Э Баумана, на 5-й и Международной конференции «Вакуумная наука и техника» (Гурзуф, 1998), Международной трибологической конференции «ІТС-2СЮ0» (г Нагасаки, Япония), 9-м Симпозиуме по трибологии «NORDTRIB-2000» (г Порвоо, Фин-
лядния), Объединенной вакуумной конференции «JVC-8», Конференции
«Ярофри-2000» (г Ярославль, 2000), Конференции «SIMS Europe - 2000» (г Мюнстер, Германия), 2-м Международном Трибологическом Конгрессе «WTC-2001» (г Вена, Австрия), 7-й Европейской вакуумной конференции «EVC-7» (г Мадрид, Испания), Объединенном Русско-Японском семинаре по нанотехнологии «Future trends in tribology 2002» (г Москва), 16-м Международном вакуумном конгрессе «IVC-16» (г Венеция, Италия, 2004) и др
Разработанный в рамках данной работы вакуумный трибометр использовался при проведении экспериментальных исследований в соответствии с Соглашением № 724-2066434/2001-05 от 14 09 2001 между CSIC, г Мадрид, Испания и МГТУ им Н Э Баумана Получен акт о внедрении
Публикации. Основное содержание работы отражено в 11 печатных работах
Объем работы. Диссертация состоит из введения, 4 глав, общих выводов по работе, библиографического списка использованной литературы из 81 наименования и изложена на 135 страницах машинописного текста, включает в себя 49 рисунков и 14 таблиц
